一种利用金刚石线切割多晶硅废料制备氮化硅的方法

    公开(公告)号:CN107365156A

    公开(公告)日:2017-11-21

    申请号:CN201710588881.7

    申请日:2017-07-19

    Inventor: 张国华 侯勇

    CPC classification number: C04B35/591 C04B35/622 C04B35/6303 C04B2235/6586

    Abstract: 一种利用金刚石线切割多晶硅废料制备氮化硅的方法。本发明直接以金刚石线切割多晶硅废料为原料,先将金刚石线切割多晶硅废料放在干燥箱中,80~200℃下抽真空干燥8h,除去里面的水分和有机溶剂,得到干燥的切割废料。将经过干燥后的金刚石线切割多晶硅废料在氮气气氛下放入高温炉中,在1100~1400℃下氮化反应一定时间,得到氮化率较高的产物,之后将氮化所得的产物经过碱浸除去残留的Si和SiO2,最终得到含有α-Si3N4和β-Si3N4的氮化硅粉体。通过在金刚石线切割多晶硅废料中添加少量的铁粉,可以促进氮化硅的生成。用金刚石线切割多晶硅废料氮化制备氮化硅,也为处理金刚石线切割多晶硅废料提供了一种新的思路,使得资源回收利用,大大降低了生产成本。

    一种多晶硅切割废料处理方法

    公开(公告)号:CN105858602A

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201610219288.0

    申请日:2016-04-08

    CPC classification number: Y02E60/36 C01B3/06 C01B33/32 C01P2002/72

    Abstract: 一种多晶硅切割废料处理方法,涉及资源化的综合利用。本发明以多晶硅切割废料为主要原料,对其进行碱溶液浸出和过滤,直接得到氢气、硅酸钠溶液、碳化硅与铁的混合物,具体步骤为:在20?95℃的温度范围内,使用浓度为5?15%氢氧化钠(或氢氧化钾)溶液对切割废料进行浸出,浸出结束后进行过滤,将滤液和浸出后废料进行分离,碱浸过程中废料中的Si与NaOH溶液发生反应生成硅酸钠和氢气,滤液可用于制备水玻璃,或作为进一步制备白炭黑的原料;碱浸后废料的主要成分为Fe和SiC,对铁进行酸浸分离后可得到纯的碳化硅。本发明提供了一种低成本资源化利用多晶硅切割废料的技术,可最大程度地回收多晶硅切割废料中的有价元素,实现变废为宝。

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