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公开(公告)号：CN119640236A
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202411893069.1
申请日：2024-12-20
Applicant: 北京石墨烯研究院 , 北京石墨烯研究院有限公司
IPC: C23C16/458 , C23C16/26 , C23C16/54
Abstract: 本发明涉及一种用于气相沉积生长石墨烯晶圆的载具、上料机构及气相沉积装置，其中，载具包括：至少两组承载单元，所述承载单元沿碳源气体的气流方向依次排列；限位组件，位于所述承载单元上，用于实现晶圆的限位，所述限位组件被配置为使得晶圆所处平面与碳源气体的气流方向平行，同时使得相邻两组所述承载单元上的晶圆在与晶圆平面垂直的方向上呈错位排列。本发明有利于气流场及温度场均匀性，能够实现批量化、均匀性制备。
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公开(公告)号：CN221659046U
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202322830818.3
申请日：2023-10-20
Applicant: 北京石墨烯研究院有限公司
IPC: B25B11/00
Abstract: 本实用新型属于固定载具技术领域，公开了真空吸盘。真空吸盘包括吸附台和切换阀，吸附台上设置有若干吸附孔，每个吸附孔对应设置一个切换阀，切换阀包括阀筒、密封垫、活动轴和弹性件，阀筒的一端与吸附孔连通，另一端能够接通真空源，阀筒内固定设置法兰盘，法兰盘将阀筒沿轴向分隔为两部分，法兰盘上设置有通气孔，活动轴滑动穿设法兰盘，活动轴朝向吸附孔的一端设置有密封垫，密封垫与阀筒的内壁之间预留有间隙，弹性件套设于活动轴上，且其两端分别连接于活动轴的另一端和法兰盘，阀筒的内壁上设置有限位台，限位台位于密封垫的背离吸附孔的一侧，密封垫上设置有微孔。该真空吸盘能够在工作状态下自动封堵不被覆盖的吸附孔。
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公开(公告)号：CN220740881U
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202322477868.8
申请日：2023-09-12
Applicant: 北京石墨烯研究院有限公司
IPC: B25B11/00
Abstract: 本实用新型属于夹具技术领域，公开了夹紧装置。该夹紧装置通过吸盘和压板的组合，确保了产品的稳定固定，通过吸盘将产品未设有胶黏层的一侧吸附在吸盘上，有效防止了产品在运送到位时，压板抬起的过程中，压板与胶黏层粘接造成产品褶皱或产品过度拉扯而散乱的问题，使得产品夹紧和释放过程更加快速和可靠，从而提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN219757552U
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN202321373296.2
申请日：2023-05-31
Applicant: 北京石墨烯研究院有限公司
Abstract: 本实用新型涉及管式炉技术领域，尤其涉及一种多点热电偶。多点热电偶用于测量管式炉的管状壳内的管状腔的温度，多点热电偶包括外壳体、测温杆和多个热电偶探头，外壳体密封罩设于管状壳的测温孔上，外壳体上开设有与测温孔正对的安装孔。部分测温杆上沿其轴向间隔设置有多个热电偶探头，测温杆活动穿设于安装孔与测温孔并伸入管状腔内，以调节多个热电偶探头在管状腔内的位置。通过手动推拉测温杆能够灵活调节各个热电偶探头在管状腔内的位置，从而使多个热电偶探头能够分别测量管状腔内各个位置的温度，不仅调节操作简便，而且扩大了检测范围，提高了对管式炉内部温度检测的全面性，有利于提高多点热电偶的测温结果的准确性。
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