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公开(公告)号：CN118180606A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202310199214.5
申请日：2023-03-03
Applicant: 北京理工大学长三角研究院(嘉兴)
Abstract: 本发明公开的时空同步聚焦的飞秒激光焊接异质硬脆材料的方法及系统，属于飞秒激光焊接应用技术领域。本发明系统包括空间色散、聚焦焊接、顶部成像监控、侧面等离子体信号收集和计算机控制五个子系统。飞秒激光通过空间色散、聚焦后用于异质材料的焊接。激光聚焦在双层材料的光学接触面，在焊接过程中从顶端CCD成像观测焊接结果，从侧面高速摄像机观测焊缝处等离子体形貌。及时调整焦点和样品接触面的相对位置关系，即通过多角度观测飞秒激光焊接过程，避免自聚焦造成焦点分裂损伤材料内部；同时观察焊缝处有无微细颗粒喷出，减少由于材料光学接触不良导致的激光能量损失和焊缝强度降低。使得焊接结果可靠、重复性高、热影响区小，符合精密微电子器件的封装要求。
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