公开(公告)号：CN117773369A

公开(公告)日：2024-03-29

申请号：CN202410123471.5

申请日：2024-01-29

Applicant: 北京理工大学长三角研究院(嘉兴) ,  北京理工大学

Inventor： 姜澜 ,  陈治成 ,  孙靖雅

IPC: B23K26/382 ,  B23K26/064

Abstract: 本发明属于飞秒激光打孔技术领域，公开了一种飞秒激光旋切加工气膜冷却孔的系统及方法；解决了现有技术中飞秒激光加工微孔对材料热损伤严重、且加工效率低的问题；其具体包括激光器，激光器的发射端设有迈克尔逊干涉系统；迈克尔逊干涉系统的输出光路上依次设有衰减片和振镜系统；振镜系统的输出光路上设有二相色镜，二相色镜的反射光路上设有物镜；物镜的聚焦端设有载样台，载样台上承载有样品；二相色镜的输入光路上还设有成像系统，成像系统对激光脉冲串烧蚀样品的过程进行监控。本发明的加工系统中使用激光脉冲串对样品进行烧蚀加工，对样品的热损伤程度较小；本发明的加工方法中通过激光脉冲串加工样品，加工效率高。

公开(公告)号：CN114674808A

公开(公告)日：2022-06-28

申请号：CN202210272975.4

申请日：2022-03-18

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 姜澜 ,  许昭 ,  王素梅 ,  詹洁 ,  陈治成

IPC: G01N21/71

Abstract: 本发明提出了一种外场增强飞秒激光诱导击穿光谱用于深度检测的方法，属于飞秒激光应用技术领域。具体涉及一种利用火花放电与微波增强飞秒激光激发等离子体发射强度，进而提高等离子体光谱的深度检测极限与元素分辨率的方法。通过将连接直流高压电源的针状电极与连接微波发生器的锥形天线固定在样品附近，在飞秒激光通过平凸透镜聚焦在样品的加工位置处，火花放电与脉冲微波使得样品局部形成了强烈的电磁脉冲，等离子体通过电磁波耦合从中吸收能量，造成等离子体密度、温度显著增加，从而提高了等离子体发光光谱的强度与信噪比，最终提高了LIBS方法用于深孔加工中元素检测的深度检测极限与元素分辨率。

公开(公告)号：CN114674808B

公开(公告)日：2024-07-30

申请号：CN202210272975.4

申请日：2022-03-18

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 姜澜 ,  许昭 ,  王素梅 ,  詹洁 ,  陈治成

IPC: G01N21/71

Abstract: 本发明提出了一种外场增强飞秒激光诱导击穿光谱用于深度检测的方法，属于飞秒激光应用技术领域。具体涉及一种利用火花放电与微波增强飞秒激光激发等离子体发射强度，进而提高等离子体光谱的深度检测极限与元素分辨率的方法。通过将连接直流高压电源的针状电极与连接微波发生器的锥形天线固定在样品附近，在飞秒激光通过平凸透镜聚焦在样品的加工位置处，火花放电与脉冲微波使得样品局部形成了强烈的电磁脉冲，等离子体通过电磁波耦合从中吸收能量，造成等离子体密度、温度显著增加，从而提高了等离子体发光光谱的强度与信噪比，最终提高了LIBS方法用于深孔加工中元素检测的深度检测极限与元素分辨率。