一种新型高精度双频同时测量激光外差干涉相位测振光路

    公开(公告)号:CN103499385A

    公开(公告)日:2014-01-08

    申请号:CN201310452081.4

    申请日:2013-09-25

    Abstract: 本发明涉及激光干涉测量领域,具体涉及一种新型高精度双频同时测量激光外差干涉相位测振光路,包括:双频激光源、第一、二、三半透半反镜、样品、半波片、全反射镜、偏振分光镜、第一、二探测器、相位测量仪。激光源发出相互正交的频率分量为f1和f2的线偏振光,光束经第一半透半反镜后被分为两束,透射光先后经第二半透半反镜、样品、快轴角度为45°的半波片、全反射镜,与反射光在第三半透半反镜处合光并入射至偏振分光镜后被分为各含平行和垂直分量的两束光,含水平分量光透射后被第一探测器接收形成第一测量信号,含垂直分量光反射后被第二探测器接收形成第二测量信号,样品振动导致二者频差为2△f,并被相位测量仪测得相应的相位差。

    一种新型双频激光外差干涉相位测振光路

    公开(公告)号:CN103499384A

    公开(公告)日:2014-01-08

    申请号:CN201310446715.5

    申请日:2013-09-25

    Abstract: 本发明涉及激光干涉测量领域,具体涉及一种新型双频激光外差干涉相位测振光路,包括:双频激光源、第一、二半透半反镜、第一、二探测器、第一、二偏振分光镜、1/4波片、样品、全反射镜、相位测量仪。激光源发出相互正交的频率分量为f1和f2的线偏振光,光束经第一半透半反镜后被分为两束,反射光被第一探测器接收形成参考光,透射光入射至第一偏振分光镜后被分为各含平行分量f1和垂直分量f2的两束光,f1光先后经第二偏振分光镜、快轴角度为45°的1/4波片、振动样品、全反射镜,与f2光在第二半透半反镜处合光被第二探测器接收形成测量光。样品振动导致测量与参考信号的频差为△f,从而被相位测量仪测得相应的相差

    具有纳米孔径沸石分子筛的镀膜微谐振器及其制备方法

    公开(公告)号:CN102042970B

    公开(公告)日:2012-05-23

    申请号:CN200910235776.0

    申请日:2009-10-15

    Abstract: 本发明为一种具有纳米孔径沸石分子筛的镀膜微谐振器及其制备方法,包括直径为40~80微米的光学介质球,在该介质微球表面镀有一层沸石分子筛膜,沸石分子筛膜的厚度为1~10微米、分子筛平均孔径小于1纳米。本发明利用球形微谐振器对折射率变化的极高敏感性和沸石膜分子筛通过选择性吸附分子改变自身折射率的独有特性,将沸石和球形微谐振器结合起来组成沸石分子筛镀膜微谐振器,可用来制造超高灵敏度的化学、生物传感器,用于检测环境中特定分子的存在及浓度。

    基于沸石分子筛镀膜微谐振器的光纤传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN102042969A

    公开(公告)日:2011-05-04

    申请号:CN200910235775.6

    申请日:2009-10-15

    Abstract: 本发明为一种基于沸石分子筛镀膜微谐振器的光纤传感器及其制备方法,包括:纤芯103、包层101、保护层102、光学介质微球谐振器104、镀有沸石分子筛膜105。其中,纤芯103外包有包层101,包层101外覆盖保护层102,三者组成一根光纤主体,光纤主体的中部被加工出一个凹槽并露出纤芯103,凹槽侧壁固定了一个带微杆的镀有沸石分子筛膜105的光学介质微球谐振器104。利用微球谐振器104自身的结构代替传统激光近场加工的显微探针,在飞秒激光照射下微球谐振器104周围光场为近场分布,通过近场加工可使微球谐振器104和主体光纤的间隙达到几至几十纳米。

    一种动态实时检测机床主轴热变形误差的光路

    公开(公告)号:CN108151666A

    公开(公告)日:2018-06-12

    申请号:CN201810000777.6

    申请日:2018-01-02

    Abstract: 本发明是一种动态实时检测机床主轴热变形误差的光路。包括:双频激光器、33%分光镜、50%分光镜、3个半透半反镜、3个反射镜、6个探测器、转折反射镜和猫眼逆反射镜。激光器发出的正交偏振光被33%分光镜和50%分光镜分成三束,分别进入由半透半反镜、反射镜、探测器组成的三个干涉测长子光路,各子光路的测量光束以不同空间角度入射到猫眼逆反射镜上。当猫眼逆反射镜安装在机床主轴上时,主轴热变形误差即反映为猫眼逆反射镜空间位置的动态实时变化。三个子光路可测出猫眼逆反射镜在空间三个方向上的微位移变化,经过计算可得到猫眼逆反射镜空间位置变化,从而得到主轴热变形误差量。

    一种基于双频激光外差干涉的光纤SPR传感测量光路

    公开(公告)号:CN105784594A

    公开(公告)日:2016-07-20

    申请号:CN201610162057.0

    申请日:2016-03-21

    CPC classification number: G01N21/01 G01N21/45 G01N2021/0112 G01N2021/458

    Abstract: 本发明涉及表面等离子共振(SPR)传感测量及激光干涉测量领域,具体涉及一种基于双频激光外差干涉的光纤SPR传感测量光路。包括:双频激光源、半透半反镜、聚焦透镜、保偏光纤Ⅰ和Ⅱ、第一、二偏振片、第一、二探测器、相位测量仪。激光源发出相互正交的线偏振光,光束经半透半反镜后被分为两束,其中透射光经过聚焦透镜、保偏光纤Ⅰ(未经处理)、聚焦透镜、第一偏振片形成拍频信号后被第一探测器接收,作为参考信号送入相位测量仪;反射光经过聚焦透镜、保偏光纤Ⅱ(中部加工成SPR激发结构)、聚焦透镜、第二偏振片后被第二探测器接收,作为测量信号送入相位测量仪。通过相位测量仪可以得到由于发生SPR现象而导致两路信号产生的相位差根据相应的测量公式测得待测介质的折射率参数。

    具有角漂移自适应结构的表面等离子体共振折射率传感器

    公开(公告)号:CN102721666A

    公开(公告)日:2012-10-10

    申请号:CN201210222650.1

    申请日:2012-06-28

    Abstract: 本发明涉及传感器及传感技术领域,具体涉及一种表面等离子体共振折射率传感器。它提出一种具有角漂移自适应结构的表面等离子体共振折射率传感器,包括:平行六面体棱镜、屋脊棱镜和金属薄膜;屋脊棱镜的长方形底面与平行六面体棱镜的右底面固定在一起;入射光从平行六面体棱镜的左底面垂直入射入,被镀有金属薄膜的平行六面体棱镜的上、下表面先后反射后,垂直入射到屋脊棱镜中并被屋脊棱镜反射,其反射光再次进入平行六面体棱镜并再次被镀有金属薄膜的平行六面体棱镜的下、上表面反射,然后从平行六面体棱镜出射,出射光与入射光平行但方向相反。本发明设计的对角漂移能够进行自动补偿的光学结构,有效地减小入射光角漂移引起的测量误差。

    一种高精度双频同时测量激光外差干涉相位测振光路

    公开(公告)号:CN103499385B

    公开(公告)日:2016-04-13

    申请号:CN201310452081.4

    申请日:2013-09-25

    Abstract: 本发明涉及激光干涉测量领域,具体涉及一种高精度双频同时测量激光外差干涉相位测振光路,包括:双频激光源、第一、二、三半透半反镜、样品、半波片、全反射镜、偏振分光镜、第一、二探测器、相位测量仪。激光源发出相互正交的频率分量为f1和f2的线偏振光,光束经第一半透半反镜后被分为两束,透射光先后经第二半透半反镜、样品、快轴角度为45°的半波片、全反射镜,与反射光在第三半透半反镜处合光并入射至偏振分光镜后被分为各含平行和垂直分量的两束光,含水平分量光透射后被第一探测器接收形成第一测量信号,含垂直分量光反射后被第二探测器接收形成第二测量信号,样品振动导致二者频差为2△f,并被相位测量仪测得相应的相位差。

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