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公开(公告)号：CN114289879B
公开(公告)日：2023-02-17
申请号：CN202210035046.1
申请日：2022-01-13
Applicant: 北京理工大学
IPC: B23K26/36 , B23K26/064
Abstract: 本发明涉及一种超快激光单次制备多个微型电容集成化的方法，属于微纳米制造领域。本发明的目的是解决现有技术加工效率低下，不灵活且精度与性能不稳定的缺点。本发明通过超快激光对二维材料进行局部选区电子动态调控，进而产生去除和烧蚀，最终可以在激光光斑面积内单次曝光实现多种超微型电容器串并联集成化制备；此方法制备效率极高、过程简单，利用这种方法制备的微型超级电容器尺寸、形状、性能、集成化形式皆灵活可调。这种单次曝光制备多个电容器集成化的方法将推动微型能源器件乃至微电子行业的发展，颠覆传统光刻加工方法，实现超高效率高性能器件集成化制造。
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公开(公告)号：CN113845173A
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN202111101404.6
申请日：2021-09-18
Applicant: 北京理工大学
IPC: C02F1/40 , B01D17/022 , B01D17/12 , C02F1/00
Abstract: 本发明涉及一种磁控开关的单向输水结构及其制备方法，属于油水分离领域。该结构上下表面具有相反的浸润性，是一种柔性、可通过控制磁场从而控制开关的单向水运输结构。加工步骤包括：(1)利用空间整形的飞秒激光对具有柔性与磁性的材料的正面(上表面)进行大面积扫面处理，在材料正面加工出表面微纳复合结构，具有疏水性；(2)利用聚焦的高斯飞秒激光对经过步骤(1)处理后的材料的反面(下表面)进行大能量划刻加工，在材料的反面加工出多种形状的穿透材料的半开孔结构，具有亲水性。该结构可有效地应用于高效率与可控的油水分离过程，该方法简单灵活，无需掩膜。
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公开(公告)号：CN110064846A
公开(公告)日：2019-07-30
申请号：CN201910331522.2
申请日：2019-04-24
Applicant: 北京理工大学
IPC: B23K26/352 , B23K26/064
Abstract: 本发明涉及一种基于电子动态调控加工液体单向流动表面的方法，利用等离子体扩散空间变化辅助飞秒激光双脉冲序列加工深度变化的特性，加工可使液体单向流动的光栅状表面，属于飞秒激光应用技术领域。本发明利用等离子体扩散空间变化辅助飞秒激光双脉冲序列加工深度变化的特性，加工可使液体单向流动的光栅状梯度表面。首先利用飞秒激光加工系统，采取飞秒激光双脉冲直写方式，在覆盖了倾斜透明材料的基底表面直接加工光栅结构。对比现有技术，本发明方法制备过程无需真空装置，无需改变激光能量参数，可快速加工出所需液体各向异性流动图案化表面，并具有较高的液体流动速度。
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公开(公告)号：CN109920659B
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：CN201910205926.7
申请日：2019-03-19
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种基于电子动态调控相变控制高精度加工二硫化钼微型超级电容器的方法，属于微纳米制造领域。本发明包括如下步骤：(1)通过飞秒激光时域整形脉冲序列聚焦到置于基底表面上的重堆叠金属相二硫化钼薄膜，同时控制飞秒激光脉冲序列的加工路线与加工参数，可加工出满足预设使用需求的二硫化钼微型超级电容器图案；(2)在已加工好的二硫化钼图案上滴涂上能够使得离子传输的有机/无机/离子溶液，并静置12小时，得到组装好的高精度二硫化钼微型超级电容器。对比现有技术，本发明具有高精度、高性能、工艺简单、灵活可控等优点。
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公开(公告)号：CN114388280A
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202111612625.X
申请日：2021-12-27
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种基于飞秒激光加工透明超级电容器的制造方法，属于纳米量子点新型储能电子器件领域。本发明利用具有特定脉冲延迟的飞秒激光聚焦加工上方覆盖一层透明凝胶电解质的MXene薄膜，并利用等离子体喷发效应，使产生的MXene量子点前置沉积在了透明的凝胶电解质上，进而制备完整的图案化平面或三明治透明超级电容器。本发明制备的电极材料新颖，制备工艺巧妙，一步法在原位即加工出完整的透明超级电容器，不需集流体和额外的电解液，同时制备的透明超级电容器兼具极高的透明性和能量存储能力，且稳定性好，循环寿命强。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114289879A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202210035046.1
申请日：2022-01-13
Applicant: 北京理工大学
IPC: B23K26/36 , B23K26/064
Abstract: 本发明涉及一种超快激光单次制备多个微型电容集成化的方法，属于微纳米制造领域。本发明的目的是解决现有技术加工效率低下，不灵活且精度与性能不稳定的缺点。本发明通过超快激光对二维材料进行局部选区电子动态调控，进而产生去除和烧蚀，最终可以在激光光斑面积内单次曝光实现多种超微型电容器串并联集成化制备；此方法制备效率极高、过程简单，利用这种方法制备的微型超级电容器尺寸、形状、性能、集成化形式皆灵活可调。这种单次曝光制备多个电容器集成化的方法将推动微型能源器件乃至微电子行业的发展，颠覆传统光刻加工方法，实现超高效率高性能器件集成化制造。
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公开(公告)号：CN114388280B
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202111612625.X
申请日：2021-12-27
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种基于飞秒激光加工透明超级电容器的制造方法，属于纳米量子点新型储能电子器件领域。本发明利用具有特定脉冲延迟的飞秒激光聚焦加工上方覆盖一层透明凝胶电解质的MXene薄膜，并利用等离子体喷发效应，使产生的MXene量子点前置沉积在了透明的凝胶电解质上，进而制备完整的图案化平面或三明治透明超级电容器。本发明制备的电极材料新颖，制备工艺巧妙，一步法在原位即加工出完整的透明超级电容器，不需集流体和额外的电解液，同时制备的透明超级电容器兼具极高的透明性和能量存储能力，且稳定性好，循环寿命强。
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公开(公告)号：CN110064846B
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN201910331522.2
申请日：2019-04-24
Applicant: 北京理工大学
IPC: B23K26/352 , B23K26/064
Abstract: 本发明涉及一种基于电子动态调控加工液体单向流动表面的方法，利用等离子体扩散空间变化辅助飞秒激光双脉冲序列加工深度变化的特性，加工可使液体单向流动的光栅状表面，属于飞秒激光应用技术领域。本发明利用等离子体扩散空间变化辅助飞秒激光双脉冲序列加工深度变化的特性，加工可使液体单向流动的光栅状梯度表面。首先利用飞秒激光加工系统，采取飞秒激光双脉冲直写方式，在覆盖了倾斜透明材料的基底表面直接加工光栅结构。对比现有技术，本发明方法制备过程无需真空装置，无需改变激光能量参数，可快速加工出所需液体各向异性流动图案化表面，并具有较高的液体流动速度。
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公开(公告)号：CN109920659A
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201910205926.7
申请日：2019-03-19
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种基于电子动态调控相变控制高精度加工二硫化钼微型超级电容器的方法，属于微纳米制造领域。本发明包括如下步骤：(1)通过飞秒激光时域整形脉冲序列聚焦到置于基底表面上的重堆叠金属相二硫化钼薄膜，同时控制飞秒激光脉冲序列的加工路线与加工参数，可加工出满足预设使用需求的二硫化钼微型超级电容器图案；(2)在已加工好的二硫化钼图案上滴涂上能够使得离子传输的有机/无机/离子溶液，并静置12小时，得到组装好的高精度二硫化钼微型超级电容器。对比现有技术，本发明具有高精度、高性能、工艺简单、灵活可控等优点。
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公开(公告)号：CN109913927A
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201910301942.6
申请日：2019-04-16
Applicant: 北京理工大学
IPC: C25D11/26 , B23K26/064 , B23K26/082 , B23K26/70 , B82Y20/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明提出了一种基于飞秒激光增强自掺杂的二氧化钛光电极制备方法，属于光催化电极材料制备领域。首先利用飞秒激光加工系统，采取飞秒激光直写方式，在金属钛表面直接加工微米阵列。然后将经过飞秒激光加工的微米阵列结构，放到电化学工作站中进行阳极氧化，得到二氧化钛的微纳复合结构。最后对二氧化钛微纳复合结构进行退火处理，使其产生结晶。对比现有技术，本发明方法制备过程无需真空装置，无需氢化还原，价格相对低廉，制造的光电极具有丰富的氧空位和微纳复合结构，并显著降低了光电极的禁带，极大提高了的光吸收、光电转化率等。
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