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公开(公告)号：CN116247401A
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN202310244621.3
申请日：2023-03-13
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院 , 北京理工大学
Abstract: 本发明提供了一种太赫兹MEMS频率可重构滤波器及其实现方法，包括波导组件和MEMS位移执行器，波导组件构成一个N阶太赫兹滤波器，MEMS位移执行器至少形成N个位移量可调的MEMS可调谐平面，MEMS可调谐平面通过调节位移量来同步等值改变所述N阶太赫兹滤波器的N个矩形谐振腔的宽度，以实现太赫兹滤波器的中心频率可重构。本发明具有大范围连续调节太赫兹波工作频率的功能，解决了当前太赫兹射频前端系统中工作频率调节困难且频率调节不连续的问题；利用这种MEMS微型可动结构调节太赫兹滤波器的工作频率，解决了当前太赫兹可重构滤波器性能差且体积大的问题；通过同步对称改变太赫兹波导滤波器谐振宽度的方法，实现太赫兹滤波器的工作频率连续可调而工作带宽保持不变。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116247401B
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202310244621.3
申请日：2023-03-13
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院 , 北京理工大学
Abstract: 本发明提供了一种太赫兹MEMS频率可重构滤波器及其实现方法，包括波导组件和MEMS位移执行器，波导组件构成一个N阶太赫兹滤波器，MEMS位移执行器至少形成N个位移量可调的MEMS可调谐平面，MEMS可调谐平面通过调节位移量来同步等值改变所述N阶太赫兹滤波器的N个矩形谐振腔的宽度，以实现太赫兹滤波器的中心频率可重构。本发明具有大范围连续调节太赫兹波工作频率的功能，解决了当前太赫兹射频前端系统中工作频率调节困难且频率调节不连续的问题；利用这种MEMS微型可动结构调节太赫兹滤波器的工作频率，解决了当前太赫兹可重构滤波器性能差且体积大的问题；通过同步对称改变太赫兹波导滤波器谐振宽度的方法，实现太赫兹滤波器的工作频率连续可调而工作带宽保持不变。
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公开(公告)号：CN116053732B
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202310093413.8
申请日：2023-01-19
Applicant: 北京理工大学 , 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明公开了一种太赫兹MEMS带宽可重构滤波器及其实现方法。本发明通过两个MEMS角度执行器嵌入到矩形波导中，利用偏置电压改变其中的2N个可转动平面的转动角度，调节太赫兹滤波器的工作带宽，解决了当前太赫兹可重构滤波器性能差且可调器件体积大的问题；本发明通过同步对称改变太赫兹MEMS带宽可重构滤波器所有可转动平面的转动角度，实现太赫兹MEMS带宽可重构滤波器的工作带宽连续可调且带宽上边带保持不变，解决了传统太赫兹滤波器工作带宽调节时带宽边带频点无法固定的问题；本发明中具有结构小、损耗低、易于太赫兹器件集成、便于大规模加工的优点；通过偏置电压调节获得高精度的工作带宽，解决传统滤波器由于设计、加工导致的工作带宽偏差。
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公开(公告)号：CN116053732A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202310093413.8
申请日：2023-01-19
Applicant: 北京理工大学 , 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明公开了一种太赫兹MEMS带宽可重构滤波器及其实现方法。本发明通过两个MEMS角度执行器嵌入到矩形波导中，利用偏置电压改变其中的2N个可转动平面的转动角度，调节太赫兹滤波器的工作带宽，解决了当前太赫兹可重构滤波器性能差且可调器件体积大的问题；本发明通过同步对称改变太赫兹MEMS带宽可重构滤波器所有可转动平面的转动角度，实现太赫兹MEMS带宽可重构滤波器的工作带宽连续可调且带宽上边带保持不变，解决了传统太赫兹滤波器工作带宽调节时带宽边带频点无法固定的问题；本发明中具有结构小、损耗低、易于太赫兹器件集成、便于大规模加工的优点；通过偏置电压调节获得高精度的工作带宽，解决传统滤波器由于设计、加工导致的工作带宽偏差。
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公开(公告)号：CN115149274B
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202211075985.5
申请日：2022-09-05
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于3D打印的全金属太赫兹多波束透镜天线及实现方法。本发明基于全金属结构的透镜天线，在透镜主体的输入端和辐射边分别设置与其连接为一个整体的馈源结构和匹配结构，在透镜主体的上主体板或下主体板上设置销钉阵列，折射率调节销钉的水平形状为辐射状；通过改变折射率调节销钉的高度从内至外逐渐降低，从而折射率沿着径向从内至外逐渐减小，符合龙勃透镜的理论折射率，由此提高透镜天线的辐射效率和工作带宽；本发明采用高精度微纳3D打印设备制作树脂模型，在树脂模型的全表面通过磁控溅射沉积镀金属膜赋予金属功能性，制备方法简单、工艺成熟且满足太赫兹频段高精度要求，在太赫兹通信系统中具有实用价值。
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公开(公告)号：CN115149274A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202211075985.5
申请日：2022-09-05
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于3D打印的全金属太赫兹多波束透镜天线及实现方法。本发明基于全金属结构的透镜天线，在透镜主体的输入端和辐射边分别设置与其连接为一个整体的馈源结构和匹配结构，在透镜主体的上主体板或下主体板上设置销钉阵列，折射率调节销钉的水平形状为辐射状；通过改变折射率调节销钉的高度从内至外逐渐降低，从而折射率沿着径向从内至外逐渐减小，符合龙勃透镜的理论折射率，由此提高透镜天线的辐射效率和工作带宽；本发明采用高精度微纳3D打印设备制作树脂模型，在树脂模型的全表面通过磁控溅射沉积镀金属膜赋予金属功能性，制备方法简单、工艺成熟且满足太赫兹频段高精度要求，在太赫兹通信系统中具有实用价值。
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