公开(公告)号：CN120079992A

公开(公告)日：2025-06-03

申请号：CN202510269934.3

申请日：2025-03-07

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 李丁奕 ,  张学强 ,  姜澜 ,  史海鑫 ,  盖浩哲 ,  张先泽

IPC: B23K26/00 ,  B23K26/70

Abstract: 本发明提供一种基于飞秒激光时空频整形的超高真空加工系统，涉及飞秒激光整形技术领域，本发明提出了一种基于飞秒激光时空频整形的超高真空加工系统，通过依次设置预整形单元、空域整形单元、时域整形单元和原位观测单元，实现对飞秒激光的精确整形，预整形单元减弱光束强度并限定光束直径和位置，形成校准光束；空域整形单元通过空间光调制器调节光束的相位和振幅，形成空域整形光束；时域整形单元通过时域分束镜分束，并利用时域反射镜调节光程实现脉冲延时，形成时域整形光束，最终，在原位观测单元中，实现高精度的光束汇聚和样品加工，通过这种系统化的时空频整形方法，本方案能够有效提高飞秒激光的光束质量和加工精度。

公开(公告)号：CN116871690A

公开(公告)日：2023-10-13

申请号：CN202310781982.1

申请日：2023-06-29

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 姜澜 ,  张先泽 ,  张学强

IPC: B23K26/36 ,  B23K26/06 ,  B23K26/70 ,  B23K26/03

Abstract: 本发明公开的一种激光剥离装置及剥离层状材料方法，属于激光加工技术领域。本发明包括激光剥离系统、容器、位移装置、微波装置、磁场装置、样品、超声振动装置和控制系统。本发明通过两束激光的相互耦合作用，通过加热效应降低层间作用力；通过二次剥离及产生更多等离子体的辅助作用提升多层材料的剥离效果。在多层材料剥离过程中引入微波，微波辅助减弱层间的作用力，使单层更好的脱离，形成均匀厚度可控的纳米片。通过引入磁场控制等离子体，实现多层材料的二次剥离及大尺寸生长，通过引入振动场，产生层间微振动及控制气泡的运动辅助材料剥离，通过检测装置对多层材料的剥离过程实时监测并反馈给装置进行调节，实现多层材料的高效高质量剥离。