一种发射光可调控的超表面集成式LED装置及制备方法

    公开(公告)号:CN116487495A

    公开(公告)日:2023-07-25

    申请号:CN202310198063.1

    申请日:2023-03-03

    Abstract: 本发明提供了一种发射光可调控的超表面集成式LED装置及制备方法,该装置由下至上包括:第一衬底、键合金属层、第一反射层、外延片、电极层、第二反射层、间隔层及超结构单元层,所述第一反射层为金属反射层,所述第二反射层为布拉格反射镜;第一衬底、键合金属层、第一反射层、外延片、电极层、第二反射层、间隔层及超结构单元层均垂直于从所述LED发射的光的传播平面。本发明提供的一种发射光可调控的超表面集成式LED装置及制备方法,具有更大的空间相干性,结构紧凑,加工工艺简单,产品良率与可靠性提升,能调控LED出射光的特性,可扩展多功能,具有广阔的应用前景。

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