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公开(公告)号：CN102621014A
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：CN201210071558.X
申请日：2012-03-16
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明涉及一种微薄膜结构双向十字拉伸多轴疲劳试验装置，属于MEMS微电子机械系统技术基础研究领域。包括上夹具体、下夹具体、内六角螺钉和加载杆件。在装卡时，将薄膜试样的夹持部分对正放入下夹具体上表面的四个凹槽中，通过螺钉将上夹具体与下夹具体进行紧固配合，实现试样的完全装卡。加载杆件上部与微机械疲劳试验机的加载装置相连接，随后通过加载装置控制加载杆件穿过上夹具体对试样实现多轴加载。由于加载杆件和试样都具有对称的结构以及保证了两者之间良好的垂直对中性，因此通过控制加载杆件上下脉动循环加载，达到对试样的等比例双向十字拉伸疲劳试验的目的。
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公开(公告)号：CN103276330A
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201310199346.4
申请日：2013-05-25
Applicant: 北京工业大学
IPC: C22F1/08
Abstract: 本发明涉及一种愈合铜薄膜件疲劳损伤的脉冲激光辐照处理方法。其步骤为：A)提供激光辐照愈合装置，所述激光辐照愈合装置包括脉冲激光器，光路装置,导轨和试件固定装置；B)将铜薄膜试件固定在金属平板中心处；C)通过导轨使激光发射口，光路装置和试件固定装置三者在同一直线上；D)控制激光光斑的大小；E)使激光光斑准确地辐照试件缺口处；F）通过激光器控制系统调整单脉冲能量，改变激光能量密度；所述脉冲激光器发射出的激光经光路装置中的凸透镜照射到铜薄膜试件表面；G)将铜薄膜试件从试件固定装置上取下。本发明在材料表面形成热影响区，不仅有效地愈合了铜薄膜试件的疲劳损伤，还能大幅提高其疲劳寿命。
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公开(公告)号：CN103276330B
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201310199346.4
申请日：2013-05-25
Applicant: 北京工业大学
IPC: C22F1/08
Abstract: 本发明涉及一种愈合铜薄膜件疲劳损伤的脉冲激光辐照处理方法。其步骤为：A)提供激光辐照愈合装置，所述激光辐照愈合装置包括脉冲激光器，光路装置,导轨和试件固定装置；B)将铜薄膜试件固定在金属平板中心处；C)通过导轨使激光发射口，光路装置和试件固定装置三者在同一直线上；D)控制激光光斑的大小；E)使激光光斑准确地辐照试件缺口处；E）通过激光器控制系统调整单脉冲能量，改变激光能量密度；所述脉冲激光器发射出的激光经光路装置中的凸透镜照射到铜薄膜试件表面；G)将铜薄膜试件从试件固定装置上取下。本发明在材料表面形成热影响区，不仅有效地愈合了铜薄膜试件的疲劳损伤，还能大幅提高其疲劳寿命。
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公开(公告)号：CN102621014B
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201210071558.X
申请日：2012-03-16
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明涉及一种微薄膜结构双向十字拉伸多轴疲劳试验装置，属于MEMS微电子机械系统技术基础研究领域。包括上夹具体、下夹具体、内六角螺钉和加载杆件。在装卡时，将薄膜试样的夹持部分对正放入下夹具体上表面的四个凹槽中，通过螺钉将上夹具体与下夹具体进行紧固配合，实现试样的完全装卡。加载杆件上部与微机械疲劳试验机的加载装置相连接，随后通过加载装置控制加载杆件穿过上夹具体对试样实现多轴加载。由于加载杆件和试样都具有对称的结构以及保证了两者之间良好的垂直对中性，因此通过控制加载杆件上下脉动循环加载，达到对试样的等比例双向十字拉伸疲劳试验的目的。
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