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公开(公告)号：CN115523846A
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：CN202211306618.1
申请日：2022-10-25
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明涉及一种基于自混合干涉的双路微位移探测装置、方法及系统，属于微位移探测领域，装置包括：激光器、第一光电探测器、分光棱镜、第二光电探测器以及透镜；激光器发出激光，分解成两路光线，一路光线入射到第一光电探测器，监测激光器输出功率受到激光自混合干涉影响而产生的实时变化，另一路由透镜聚焦至待测物体表面；PZT驱动的待测物体作周期的往返运动并反射生成反射信号光，逆向分解为另外两路光线，其中一路反射信号光原路返回至激光器，引起激光输出功率实时变化，被第一光电探测器进行测量记录；另一路反射信号光被反射进入第二光电探测器中，由第二光电探测器进行探测记录。本发明中的上述方案能够实现微位移的精确探测。
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