公开(公告)号：CN115389619B

公开(公告)日：2023-06-30

申请号：CN202210989097.8

申请日：2022-08-17

Applicant: 北京大学长三角光电科学研究院

Inventor： 肖云峰 ,  张方醒 ,  季胜强 ,  孙伽略 ,  柏雁捷 ,  皇甫胜男 ,  董跨

IPC: G01N29/04 ,  G01N29/22 ,  G01N29/44 ,  G06T7/00 ,  G06V10/30

Abstract: 本申请涉及半导体技术领域，提供一种材料缺陷检测方法、装置、电子设备及计算机存储介质。包括：基于检测请求发射脉冲激光光束，并将所述脉冲激光光束调节为准直光束；对所述准直光束进行聚焦，使聚焦形成的激光光斑辐射至待检测半导体材料；接收所述待检测半导体材料受所述激光光斑激发产生的机械波，基于所述机械波进行缺陷检测，得到所述待检测半导体材料的缺陷检测结果。本申请由于脉冲激光光束不会对待检测半导体材料产生损害，可以实现待检测半导体材料的无损缺陷检测；同时，基于机械波进行待检测半导体材料的缺陷检测，可以得到精准的缺陷检测结果。因此，可以提高对半导体材料进行缺陷检测的缺陷检测技术的实用性。

公开(公告)号：CN115389619A

公开(公告)日：2022-11-25

申请号：CN202210989097.8

申请日：2022-08-17

Applicant: 北京大学长三角光电科学研究院

Inventor： 肖云峰 ,  张方醒 ,  季胜强 ,  孙伽略 ,  柏雁捷 ,  皇甫胜男 ,  董跨

IPC: G01N29/04 ,  G01N29/22 ,  G01N29/44 ,  G06T7/00 ,  G06V10/30

Abstract: 本申请涉及半导体技术领域，提供一种材料缺陷检测方法、装置、电子设备及计算机存储介质。包括：基于检测请求发射脉冲激光光束，并将所述脉冲激光光束调节为准直光束；对所述准直光束进行聚焦，使聚焦形成的激光光斑辐射至待检测半导体材料；接收所述待检测半导体材料受所述激光光斑激发产生的机械波，基于所述机械波进行缺陷检测，得到所述待检测半导体材料的缺陷检测结果。本申请由于脉冲激光光束不会对待检测半导体材料产生损害，可以实现待检测半导体材料的无损缺陷检测；同时，基于机械波进行待检测半导体材料的缺陷检测，可以得到精准的缺陷检测结果。因此，可以提高对半导体材料进行缺陷检测的缺陷检测技术的实用性。