公开(公告)号：CN117288353A

公开(公告)日：2023-12-26

申请号：CN202310983802.8

申请日：2023-08-07

Applicant: 北京大学深圳研究生院

Inventor： 张敏 ,  张子璇 ,  杨永胜

IPC: G01L1/14 ,  G01L9/12

Abstract: 本申请提出一种电容式压力传感器制备方法包括，制备经图形化的竖直碳纳米管阵列层作为电容式压力传感器的第一电极，其中在所述竖直碳纳米管阵列层中包括将竖直碳纳米管阵列彼此隔离开的一个或多个隔离区域；将所述经图形化的竖直碳纳米管阵列层转移到第一柔性衬底层上；在所述竖直碳纳米管阵列层远离所述第一柔性衬底的一侧上方设置第一隔离层；在所述第一隔离层上设置电介质层；在所述电介质层上设置第二隔离层；在所述第二隔离层上设置电容式压力传感器第二电极，其中所述第二电极包括设置在第二柔性衬底上的碳纳米管层。本申请还提供了一种电容式压力传感器。

公开(公告)号：CN118684184A

公开(公告)日：2024-09-24

申请号：CN202410442008.7

申请日：2024-04-12

Applicant: 北京大学深圳研究生院

Inventor： 张敏 ,  杨永胜

IPC: B81C1/00 ,  G01L1/22 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  B82Y15/00

Abstract: 本申请涉及一种制备电阻式柔性应力传感器的方法，包括在柔性衬底上制备柔性转移介质层；将所述柔性衬底固定在卷轴上，其中带有柔性转移介质层的一面背离卷轴表面；制备生长有碳纳米管的复合材料；使所述卷轴围绕其轴心沿第一方向滚动，并压倒所述碳纳米管并将其转移固定到所述柔性转移介质层上形成碳纳米管层，其中至少部分相邻的碳纳米管在被压倒后沿所述第一方向彼此接触；在所述碳纳米管层彼此距离最远的两个端点位置形成与其电连接的第一电极和第二电极。