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公开(公告)号：CN115603685A
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202211315902.5
申请日：2022-10-26
Applicant: 北京大学(CN)
IPC: H03H3/007
Abstract: 本发明提供了一种微机电谐振式器件品质因数稳定性提升装置及方法，所述装置包括：微机电谐振式器件、闭环驱动电路和阻尼控制电路，闭环驱动电路的输入端与微机电谐振式器件的振动拾取结构连接，闭环驱动电路的第一输出端与微机电谐振式器件的驱动结构连接，阻尼控制电路的输入端与闭环驱动电路的第二输出端连接，阻尼控制电路输出端与微机电谐振式器件的阻尼调节结构连接。在本发明中，通过闭环驱动电路可使微机电谐振式器件在其谐振频率处进行恒幅振动，在温变条件下，通过阻尼控制电路对阻尼控制电压或调节电阻进行动态调节，实现微机电谐振式器件的阻尼维持恒定，使与品质因数相关的驱动电压维持在目标驱动电压不变，实现品质因数稳定性提升。
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