公开(公告)号：CN1328348A

公开(公告)日：2001-12-26

申请号：CN01123428.8

申请日：2001-07-23

Applicant: 北京大学

Inventor： 张太平 ,  宁宝俊 ,  田大宇 ,  张洁天 ,  张录 ,  倪学文 ,  王玮 ,  李静 ,  马连荣 ,  王兆江 ,  袁坚 ,  郭昭乔

IPC: H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 一种制备光电探测器的方法。采用特殊版图设计,宽引线铝覆部分场区,氯离子处理炉管,在有氢气氛的低温炉中退火,慢降温和磷吸杂工艺。经此方法制备的光电探测器反向击穿高,暗电流小,结电容小,响应速度快,光谱响应范围广,参数优异并稳定。可广泛应用于光电探测器的制备领域。

公开(公告)号：CN1159772C

公开(公告)日：2004-07-28

申请号：CN01123428.8

申请日：2001-07-23

Applicant: 北京大学

Inventor： 张太平 ,  宁宝俊 ,  田大宇 ,  张洁天 ,  张录 ,  倪学文 ,  王玮 ,  李静 ,  马连荣 ,  王兆江 ,  袁坚 ,  郭昭乔

IPC: H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 一种制备光电探测器的方法。采用特殊版图设计，宽引线铝覆部分场区，氯离子处理炉管，在有氢气氛的低温炉中退火，慢降温和磷吸杂工艺。经此方法制备的光电探测器反向击穿高，暗电流小，结电容小，响应速度快，光谱响应范围广，参数优异并稳定。可广泛应用于光电探测器的制备领域。