一种提高MEMS加速度计长期稳定性的方法

    公开(公告)号:CN115047213B

    公开(公告)日:2023-04-21

    申请号:CN202110254469.8

    申请日:2021-03-09

    Applicant: 北京大学

    Inventor: 罗广 时广轶

    Abstract: 本发明公开了一种提高MEMS加速度计长期稳定性的方法,包括:在传感器上设置多冗余的MEMS加速度计和温度计,并获取它们的输出值;判断当前时刻的温度变化情况,根据升温降温的不同,分别使用多项式拟合模型、神经网络拟合模型进行补偿;对经过温度补偿后的冗余加速度计输出数据进行误差比较,选择表现较为稳定的加速度计作为传感器的输出。由此,通过温度补偿模型对加速度计的原始输出数据进行处理,适应温度冲激和复杂环境,提高MEMS加速度计的长期稳定性。

    一种提高MEMS加速度计长期稳定性的方法

    公开(公告)号:CN115047213A

    公开(公告)日:2022-09-13

    申请号:CN202110254469.8

    申请日:2021-03-09

    Applicant: 北京大学

    Inventor: 罗广 时广轶

    Abstract: 本发明公开了一种提高MEMS加速度计长期稳定性的方法,包括:在传感器上设置多冗余的MEMS加速度计和温度计,并获取它们的输出值;判断当前时刻的温度变化情况,根据升温降温的不同,分别使用多项式拟合模型、神经网络拟合模型进行补偿;对经过温度补偿后的冗余加速度计输出数据进行误差比较,选择表现较为稳定的加速度计作为传感器的输出。由此,通过温度补偿模型对加速度计的原始输出数据进行处理,适应温度冲激和复杂环境,提高MEMS加速度计的长期稳定性。

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