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公开(公告)号：CN117133825A
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202310952838.X
申请日：2023-07-31
Applicant: 北京大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/109 , H01L31/0232 , H01L31/0224
Abstract: 本发明涉及一种波导光电探测器及其制备方法。其制备方法包括：在基底上生长低维材料，得到低维材料薄膜；在低维材料薄膜上覆盖第一光刻胶，保留与设计版图的大小相同的第一光刻胶；刻蚀掉未覆盖第一光刻胶的低维材料薄膜，沉积氧化铝，以生成氧化铝薄膜；在氧化铝薄膜的表面生长波导材料；写出波导结构后，刻蚀出波导结构；在波导结构上覆盖第二光刻胶后，去除氧化铝薄膜上的第二光刻胶；湿法刻蚀氧化铝薄膜；沉积金属电极材料，得到电极层；去除波导结构和氧化铝薄膜上的第二光刻胶，以剥离第二光刻胶上的电极层，保留用于制备电极的位置的电极层，得到波导光电探测器。本发明的目的是解决现有技术对波导光电探测器的制备效率低的问题。
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