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发明公开
一种微型麦克风膜片无效

公开(公告)号：CN1787692A

公开(公告)日：2006-06-14

申请号：CN200510117339.0

申请日：2005-11-02

Applicant: 北京大学

Inventor： 贺学锋 , 王从舜 , 方竞 , 张珏 , 张大成 , 胡维 , 李婷 , 阮勇

IPC: H04R7/02 , H04R19/04

Abstract: 本发明涉及一种微型麦克风膜片，其中膜片上加有压应力，且压应力在1～100MPa之间。本发明通过采用复合膜片，或者通过调整掺杂剂量、退火温度和退火时间等工艺参数，在膜片内引入适当的压应力，在不改变麦克风膜片大小的条件下，提高微型麦克风膜片的机械灵敏度。

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