公开(公告)号：CN106783496B

公开(公告)日：2018-05-22

申请号：CN201611207099.8

申请日：2016-12-23

Applicant: 北京大学

Inventor： 毛珩 ,  温爽 ,  姜明

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/295 ,  H01J37/22

Abstract: 本发明公开了一种电子显微镜断层成像方法及系统，所述方法包括：步骤1，系统复位；步骤2，采集投影及其参数；步骤3，根据步骤23采集到的投影及其参数，重建出待测样品的层析图像。本发明能够在成像范围内对投影参数进行选取，即精确控制待测样品处于不同的角度组合(alphai,phij)，并在选取的投影参数状态下自动采集待测样品的投影，因此可以同时实现对待测样品的单倾斜和锥倾斜成像的全自动数据采集过程，为快速获取待测样品的层析图像提供了有利条件。

公开(公告)号：CN106783496A

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201611207099.8

申请日：2016-12-23

Applicant: 北京大学

Inventor： 毛珩 ,  温爽 ,  姜明

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/295 ,  H01J37/22

CPC classification number: H01J37/26 ,  H01J37/22 ,  H01J37/222 ,  H01J37/28 ,  H01J37/295

Abstract: 本发明公开了一种电子显微镜断层成像方法及系统，所述方法包括：步骤1，系统复位；步骤2，采集投影及其参数；步骤3，根据步骤23采集到的投影及其参数，重建出待测样品的层析图像。本发明能够在成像范围内对投影参数进行选取，即精确控制待测样品处于不同的角度组合(alphai,phij)，并在选取的投影参数状态下自动采集待测样品的投影，因此可以同时实现对待测样品的单倾斜和锥倾斜成像的全自动数据采集过程，为快速获取待测样品的层析图像提供了有利条件。