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公开(公告)号：CN118150968A
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202410296559.7
申请日：2024-03-15
Applicant: 北京大学
IPC: G01R31/26
Abstract: 本发明公开了一种基于GaN器件1/f噪声的可靠性测试系统，属于半导体器件测试领域。该系统包括半导体参数分析仪、探针台、放大电路、数字IO设备、金属机箱、计算机PC、采集卡及其机箱；通过运算放大器对器件电流进行放大得到电压信号，通过采集卡采集电压信号进行分析，从而对器件的可靠性进行表征与评估；通过数字IO设备控制继电器来控制放大电路是否接入，实现器件噪声测试和器件IV特性测试的切换；使用继电器控制接入运算放大器电路的反馈电阻，控制放大倍数，应对不同数量级电流的场景；通过计算机PC控制系统中各设备，实现对GaN器件1/f噪声的自动测试。本发明有测试电流范围大、自动化程度高、抗干扰能力强等优势。
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