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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115274386B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202210792857.6
申请日：2022-07-07
Applicant: 北京大学
IPC: H01J37/147 , H01J37/21 , H01J37/30 , H01J37/305 , B81C1/00 , B81C99/00 , B82B3/00 , B82Y5/00 , B82Y15/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明公开了一种固态纳米孔批量精密加工装置及其加工方法。本发明包括：离子光学系统、透射式阵列载样样品台、自动位移台、真空样品室、二次电子探测器、图形扫描控制系统和计算机，采用聚焦离子束的焦点，在图形扫描控制系统的精密控制下，在硅基固态薄膜上定位扫描，可以实现固态纳米孔尺寸的精密可控制备；在加工过程中，能够通过透过纳米孔加工区域的离子束成像衬度，实时监测纳米孔的加工过程，获得可控的离子束加工参数，进一步提高加工精度；采用阵列载样台实现固态纳米孔的批量化精密加工，极大提高了加工效率，单个固态纳米孔的加工周期极大缩短；旨在制造尺寸在1μm与5nm之间的固态纳米孔，以用于蛋白质分子和DNA分子等生物传感检测。
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公开(公告)号：CN118979292A
公开(公告)日：2024-11-19
申请号：CN202410984320.9
申请日：2024-07-22
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种离子束诱导无掩膜沉积方法及应用，涉及固体材料纳米图案沉积技术领域，所述离子束诱导无掩膜沉积方法包括下列步骤：获取基底，基底表面部分覆盖有金属电极；在基底上滴加溶解有待沉积物质的溶液形成液池，液池至少部分覆盖金属电极表面；利用聚焦离子束对所述液池进行辐照处理，使液池中溶液在基底表面定向流动，形成预设图案；利用探针在所述液池和所述金属电极上构建三电极电化学体系，使预设图案中待沉积物质在外加电场作用下沉积形成固态材料预设图案。本发明提供的技术方案能够实现固体材料在基底表面的简单、灵活且精确的图案化沉积。
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公开(公告)号：CN111646425B
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN202010340913.3
申请日：2020-04-26
Applicant: 北京大学
Abstract: 本申请提供了一种离子束诱导的液膜图案化印刷方法，具体包括：准备固体基片和液体样品；在固体基片的表面滴加液体样品的液滴形成液池；在图形发生器上创建图案，根据所创建的图案设置图案的几何参数以及离子束的参数；利用离子束对所述液池进行辐照，基于离子束与液池中的液体分子的相互作用和离子束与固体基片之间的相互作用，离子束驱动液池中的液体流动，以在固体基片上印刷出所创建的图案。本申请所提供的离子束诱导的液膜图案化印刷方法不需要微通道，灵活性强，装置简单，不需要在固体基底上附加复杂的电极和电路，不需要在固体基片的表面做任何的预先处理，可以达到纳米级的精度，所形成的液膜的宽度可以达到200纳米左右，厚度可以达到20纳米左右。
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公开(公告)号：CN115274386A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202210792857.6
申请日：2022-07-07
Applicant: 北京大学
IPC: H01J37/147 , H01J37/21 , H01J37/30 , H01J37/305 , B81C1/00 , B81C99/00 , B82B3/00 , B82Y5/00 , B82Y15/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明公开了一种固态纳米孔批量精密加工装置及其加工方法。本发明包括：离子光学系统、透射式阵列载样样品台、自动位移台、真空样品室、二次电子探测器、图形扫描控制系统和计算机，采用聚焦离子束的焦点，在图形扫描控制系统的精密控制下，在硅基固态薄膜上定位扫描，可以实现固态纳米孔尺寸的精密可控制备；在加工过程中，能够通过透过纳米孔加工区域的离子束成像衬度，实时监测纳米孔的加工过程，获得可控的离子束加工参数，进一步提高加工精度；采用阵列载样台实现固态纳米孔的批量化精密加工，极大提高了加工效率，单个固态纳米孔的加工周期极大缩短；旨在制造尺寸在1μm与5nm之间的固态纳米孔，以用于蛋白质分子和DNA分子等生物传感检测。
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公开(公告)号：CN111646425A
公开(公告)日：2020-09-11
申请号：CN202010340913.3
申请日：2020-04-26
Applicant: 北京大学
Abstract: 本申请提供了一种离子束诱导的液膜图案化印刷方法，具体包括：准备固体基片和液体样品；在固体基片的表面滴加液体样品的液滴形成液池；在图形发生器上创建图案，根据所创建的图案设置图案的几何参数以及离子束的参数；利用离子束对所述液池进行辐照，基于离子束与液池中的液体分子的相互作用和离子束与固体基片之间的相互作用，离子束驱动液池中的液体流动，以在固体基片上印刷出所创建的图案。本申请所提供的离子束诱导的液膜图案化印刷方法不需要微通道，灵活性强，装置简单，不需要在固体基底上附加复杂的电极和电路，不需要在固体基片的表面做任何的预先处理，可以达到纳米级的精度，所形成的液膜的宽度可以达到200纳米左右，厚度可以达到20纳米左右。
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