微悬臂梁光纤加速度传感器机构

    公开(公告)号:CN114778890B

    公开(公告)日:2023-06-20

    申请号:CN202210323204.3

    申请日:2022-03-30

    Abstract: 本申请提供有一种微悬臂梁光纤加速度传感器机构,本方案中通过设计内部中空两段开口的载体,用于作为传感器的主体,用于承载第一光学元件和第二光学元件。同时,第一开口的一侧的外壁上设计沿第一方向的悬臂,用于承载振动机构。通过设计包括振片和配重的振动机构,可以使得当传感器机构收到惯性力作用时,通过配重带动振片进行振动。第二光学元件发射的光路经过第一光学元件,再经振片反射后经过第一光学元件将光路重新聚焦返回到第二光学元件中。最终通过干涉后进行光谱分析,得出F‑P腔长值,然后对比初始腔长值最终得出加速度值。

    微悬臂梁光纤加速度传感器机构

    公开(公告)号:CN114778890A

    公开(公告)日:2022-07-22

    申请号:CN202210323204.3

    申请日:2022-03-30

    Abstract: 本申请提供有一种微悬臂梁光纤加速度传感器机构,本方案中通过设计内部中空两段开口的载体,用于作为传感器的主体,用于承载第一光学元件和第二光学元件。同时,第一开口的一侧的外壁上设计沿第一方向的悬臂,用于承载振动机构。通过设计包括振片和配重的振动机构,可以使得当传感器机构收到惯性力作用时,通过配重带动振片进行振动。第二光学元件发射的光路经过第一光学元件,再经振片反射后经过第一光学元件将光路重新聚焦返回到第二光学元件中。最终通过干涉后进行光谱分析,得出F‑P腔长值,然后对比初始腔长值最终得出加速度值。

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