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公开(公告)号：CN102966518A
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN201210495666.X
申请日：2012-11-28
Applicant: 北京卫星环境工程研究所
Abstract: 本发明公开了大型空间环境模拟器清洁真空抽气系统及抽气方法，包括粗抽系统、磁悬浮分子泵系统和低温泵系统。其中，粗抽系统包括若干套并联的粗抽机组，每套粗抽机组由应用于半导体行业的无油干泵罗茨泵机组构成，通过PLC及上位计算机对真空抽气全过程进行自动控制和测量以实现大型空间环境模拟器高真空的获得与维持；其中，磁悬浮分子泵系统由应用于半导体行业用的磁悬浮分子泵和无油干泵罗茨泵机组组成；其中，低温泵系统采用制冷机低温泵，其低温泵前级采用分子泵和干泵罗茨泵组成的机组；本发明也公开了相应的抽气工艺。本发明通过采用无油的真空抽气系统和合理的抽气工艺，解决了大型空间模拟器清洁高真空的获得问题。
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