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公开(公告)号:CN107101735A
公开(公告)日:2017-08-29
申请号:CN201710441262.5
申请日:2017-06-13
Applicant: 北京卫星环境工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种用于测量表面瞬态温度的片状薄膜热电偶,包括片状高温陶瓷基体、薄膜热电极、薄膜绝缘层及引线,采用等离子体溅射在陶瓷基体上制备薄膜热电极,薄膜热电极之间设置热接点,即为测量端;热电极上覆盖薄膜绝缘层。本发明的片状薄膜热电偶可用于1000℃以上环境的特殊构型物件表面温度测量。