一种光刻胶组合物
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111458978A

    公开(公告)日:2020-07-28

    申请号:CN202010305848.0

    申请日:2020-04-17

    Abstract: 本发明实施例提供一种光刻胶组合物,光刻胶组合物包括:酚醛树脂、丙烯酸树脂和感光化合物,感光化合物包括第一感光化合物、第二感光化合物中的至少一个。在半色调掩膜版工艺中,利用双组分成膜树脂酚醛树脂和丙烯酸树脂,利用酚醛树脂和丙烯酸树脂溶解速率的差异性,产生“双重对比度”,解决了半保留区域的膜厚度很难达到较好的均一性问题,在一定范围内的曝光能量下,使得半保留区域的膜厚度具有较好的均一性,能够满足半色调掩膜版工艺的要求。

    一种光刻胶组合物
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111458978B

    公开(公告)日:2024-08-30

    申请号:CN202010305848.0

    申请日:2020-04-17

    Abstract: 本发明实施例提供一种光刻胶组合物,光刻胶组合物包括:酚醛树脂、丙烯酸树脂和感光化合物,感光化合物包括第一感光化合物、第二感光化合物中的至少一个。在半色调掩膜版工艺中,利用双组分成膜树脂酚醛树脂和丙烯酸树脂,利用酚醛树脂和丙烯酸树脂溶解速率的差异性,产生“双重对比度”,解决了半保留区域的膜厚度很难达到较好的均一性问题,在一定范围内的曝光能量下,使得半保留区域的膜厚度具有较好的均一性,能够满足半色调掩膜版工艺的要求。

    投料装置及光刻胶生产系统

    公开(公告)号:CN222592860U

    公开(公告)日:2025-03-11

    申请号:CN202421383208.1

    申请日:2024-06-17

    Abstract: 本实用新型提供的一种投料装置及光刻胶生产系统,涉及光刻胶生产设备技术领域,以在一定程度上优化投料装置结构,降低投料装置尺寸,提高投料精度。本实用新型提供的投料装置,包括料斗、弹性件、挡板组件以及推动组件;弹性件设置于料斗内,料斗形成有进料口和出料口,挡板组件包括第一挡板、第二挡板以及连杆,弹性件的一端与料斗的底部相连接,另一端与第一挡板相连接,连杆的两端分别与第一挡板和第二挡板相连接,第二挡板的面积与进料口的面积相适配;出料口位于料斗的侧壁,且出料口的高度不低于弹性件压缩至极限状态时第一挡板所处的水平高度,推动组件对应出料口设置,且推动组件能够沿料斗的径向往复运动。

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