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公开(公告)号：CN114751460A
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202210376159.8
申请日：2022-04-11
Applicant: 北京化工大学
Abstract: 本发明公开了一种稀土铁氧体铁酸镥薄膜的溶胶凝胶制备方法。该方法包括溶胶凝胶、旋涂制膜和热处理工艺，通过调控溶胶浓度与转速的合理搭配以及干燥温度及时间保证了薄膜的生长完整致密且无裂纹，调控预退火温度及时间、退火温度及时间保证了薄膜的取向生长且无杂质。本发明使用匀胶机旋涂制备薄膜，设备成本低，且薄膜结晶时间短，工艺简单，利于工业化大规模生产。本发明制备的镥铁氧体薄膜生长取向良好、无杂质、生长致密完整、无裂纹且具有优异的阻变特性、非线性电输运特性以及光电特性，在微电子器件以及探测器等方面具有巨大的应用潜力和广阔的应用前景。
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