公开(公告)号：CN111403593B

公开(公告)日：2021-02-19

申请号：CN202010119779.4

申请日：2020-02-26

Applicant: 北京信息科技大学

Inventor： 王宏伟 ,  黄启国

IPC: H01L41/09 ,  H01L41/04 ,  H01L41/338

Abstract: 本发明涉及一种用于制作高频宽带高灵敏度水声换能器的敏感元件及其制备方法。该敏感元件包括至少两个敏感模块，各敏感模块自内向外依次套接，各敏感模块的厚度自内向外依次减小，各敏感模块之间设有柔性材料层；每个敏感模块包含带基底的压电小柱阵列，以及固定安装在压电小柱阵列的上表面的金属板，所述压电小柱阵列中压电小柱之间的缝隙内填充空气。利用该敏感元件，可进一步制作水声换能器。本发明将压电小柱中填充的聚合物更换为空气，可使换能材料获得高机电耦合系数和接收灵敏度，并通过多频叠加的方式展宽带宽。

公开(公告)号：CN111403593A

公开(公告)日：2020-07-10

申请号：CN202010119779.4

申请日：2020-02-26

Applicant: 北京信息科技大学

Inventor： 王宏伟 ,  黄启国

IPC: H01L41/09 ,  H01L41/04 ,  H01L41/338

Abstract: 本发明涉及一种用于制作高频宽带高灵敏度水声换能器的敏感元件及其制备方法。该敏感元件包括至少两个敏感模块，各敏感模块自内向外依次套接，各敏感模块的厚度自内向外依次减小，各敏感模块之间设有柔性材料层；每个敏感模块包含带基底的压电小柱阵列，以及固定安装在压电小柱阵列的上表面的金属板，所述压电小柱阵列中压电小柱之间的缝隙内填充空气。利用该敏感元件，可进一步制作水声换能器。本发明将压电小柱中填充的聚合物更换为空气，可使换能材料获得高机电耦合系数和接收灵敏度，并通过多频叠加的方式展宽带宽。

公开(公告)号：CN111403594A

公开(公告)日：2020-07-10

申请号：CN202010119822.7

申请日：2020-02-26

Applicant: 北京信息科技大学

Inventor： 王宏伟 ,  黄启国

IPC: H01L41/09 ,  H01L41/04 ,  H01L41/338

Abstract: 本发明涉及一种用于制作高灵敏度水声换能器的敏感元件及其制备方法。该敏感元件包括带基底的压电小柱阵列，以及固定安装在压电小柱阵列的上表面的金属板；所述压电小柱阵列中压电小柱之间的缝隙内填充空气。该制备方法包括：沿着X方向切割压电材料片；沿着Y方向切割压电材料片，形成带基底的压电小柱阵列；在压电小柱阵列的上表面粘接金属板。利用该敏感元件，可进一步制作水声换能器。本发明将压电材料中填充的聚合物更换为空气，同时在其上表面盖金属板，能够有效提高机电耦合系数和接收灵敏度。