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公开(公告)号：CN112391603A
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN202011280482.2
申请日：2020-11-16
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: C23C16/04 , C23C16/448 , C25F7/00
Abstract: 本公开涉及电化学加工技术领域，具体提供了一种基于气相沉积法的中空电极侧壁绝缘层制备系统及方法。该制备系统包括供气装置、沉积装置、电极毛细自持装置、中空电极、气体冷却装置和供液装置，供气装置和气体冷却装置分别通过供气阀和抽气阀与沉积装置连接，气体冷却装置内设有真空泵，电极毛细自持装置包括电极固定装置和装液装置。制备方法包括以下步骤：通过供液装置向装液装置中注入亲水液体；在亲水金属管毛细自持现象下，亲水液体填满小管的内部；向沉积装置中提供压强为0.35mpa的真空环境；向沉积装置中通入Parylene气体；经过t时间后，Parylene气体以Parylene聚合物的形态附着在中空电极的外表面；镀膜结束，气体冷却装置将镀膜过程中剩余气体冷阱捕集凝集。
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公开(公告)号：CN110158140B
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201910424557.0
申请日：2019-05-21
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本发明公开一种双极性电泳法的微细中空电极侧壁绝缘层制备装置及方法，方法包括：S1、供气系统中的高压氮气密封装置在自力式调节阀的控制下向中空电极中通入氮气，以使中空电极内部通畅；S2、计算机向电机驱动器发出控制电机旋转的驱动指令，以使旋转的电机带动中空电极旋转，在双极性电源提供的电场作用下，电解液中的带电胶粒在中空电极表壁沉积成膜；S3、计算机根据预设规则向双极性电源发送极性转换的指令，双极性电源控制所述辅助电极和中空电极的极性转换。上述方法在增加均匀性和致密性的同时，提升了绝缘层的耐久性。
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公开(公告)号：CN110158140A
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201910424557.0
申请日：2019-05-21
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本发明公开一种双极性电泳法的微细中空电极侧壁绝缘层制备装置及方法，方法包括：S1、供气系统中的高压氮气密封装置在自力式调节阀的控制下向中空电极中通入氮气，以使中空电极内部通畅；S2、计算机向电机驱动器发出控制电机旋转的驱动指令，以使旋转的电机带动中空电极旋转，在双极性电源提供的电场作用下，电解液中的带电胶粒在中空电极表壁沉积成膜；S3、计算机根据预设规则向双极性电源发送极性转换的指令，双极性电源控制所述辅助电极和中空电极的极性转换。上述方法在增加均匀性和致密性的同时，提升了绝缘层的耐久性。
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公开(公告)号：CN112391603B
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202011280482.2
申请日：2020-11-16
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: C23C16/04 , C23C16/448 , C25F7/00
Abstract: 本公开涉及电化学加工技术领域，具体提供了一种基于气相沉积法的中空电极侧壁绝缘层制备系统及方法。该制备系统包括供气装置、沉积装置、电极毛细自持装置、中空电极、气体冷却装置和供液装置，供气装置和气体冷却装置分别通过供气阀和抽气阀与沉积装置连接，气体冷却装置内设有真空泵，电极毛细自持装置包括电极固定装置和装液装置。制备方法包括以下步骤：通过供液装置向装液装置中注入亲水液体；在亲水金属管毛细自持现象下，亲水液体填满小管的内部；向沉积装置中提供压强为0.35MPa的真空环境；向沉积装置中通入Parylene气体；经过t时间后，Parylene气体以Parylene聚合物的形态附着在中空电极的外表面；镀膜结束，气体冷却装置将镀膜过程中剩余气体冷阱捕集凝集。
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