一种通过刻蚀法制备异质结光子晶体的方法

    公开(公告)号:CN118667277A

    公开(公告)日:2024-09-20

    申请号:CN202410639430.1

    申请日:2024-05-22

    Inventor: 崔秋红 王启凯

    Abstract: 本发明提供了一种通过刻蚀法制备异质结光子晶体的方法。该方法包括:将二氧化硅纳米颗粒分散在树脂中,再在树脂中加入引发剂后混合均匀,制得二氧化硅的树脂悬浮液;将所述二氧化硅树脂悬浮液经微流控芯片剪切,紫外灯固化后,制得树脂/二氧化硅基光子晶体;在所述树脂/二氧化硅基光子晶体的表面部分包裹薄膜,得到被部分保护的光子晶体;将所述被部分保护的光子晶体经刻蚀液浸泡后,用清水洗涤多次,剥离薄膜,得到异质结光子晶体。本发明方法是一套能够批量、快速、可控的制备异质结光子晶体的新方法,能够大大推动异质结光子晶体的实际应用。

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