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公开(公告)号：CN102538866B
公开(公告)日：2013-05-15
申请号：CN201110439854.6
申请日：2011-12-23
Applicant: 北京交通大学
Abstract: 本发明公开了一种可调谐拍波线扫描的大量程高分辨率表面三维干涉测量系统，属于光学测量技术领域。所述系统由宽带光源、两个光纤隔离器、三个光阑、三个自准直镜、两个衍射光栅、七个平柱透镜、两个线阵光电耦合器、3dB-耦合器、分光镜、纵向微动工作台、横向微动工作台、数据采集卡、信号发生器、驱动控制、计算机和结果输出组成；利用拍波光片扫描被测表面，一个线阵光电耦合器探测拍波干涉信号，使量程为半拍波波长，另一线阵光电耦合器探测单波长干涉信号来决定分辨率，使系统有大量程及高分辨率。调节拍波波长，可得不同量程。只需一维扫描即完成表面三维测量，简化了机构，提高了测量速度。共路干涉使系统有强抗干扰性，适合在线测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102564318B
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201110439810.3
申请日：2011-12-23
Applicant: 北京交通大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开了一种基于光纤复合干涉的高精度绝对位移测量系统，属于光学测量技术领域。所述系统由宽带光源、光纤隔离器、3dB-耦合器、二个自准直镜、光纤光栅、二个反射镜、两个探测器、环行器、一维平移台、压电陶瓷、反馈控制电路、信号发生器、信号处理电路、A/D转换卡、计算机和结果输出组成；本发明利用光纤光栅反射满足布拉格条件的波长的光，使光纤干涉仪同时工作在低相干干涉和高相干干涉状态，用低相干干涉信号决定被测位移的幅值，使测量量程不受光波波长的限制，并实现绝对测量；用高相干干涉信号测量位移的值，并用反馈控制抑制环境干扰对光纤干涉仪的影响，实现高精度测量。
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公开(公告)号：CN102538866A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110439854.6
申请日：2011-12-23
Applicant: 北京交通大学
IPC: G01D21/00
Abstract: 本发明公开了一种可调谐拍波线扫描的大量程高分辨率表面三维干涉测量系统，属于光学测量技术领域。所述系统由宽带光源、两个光纤隔离器、三个光阑、三个自准直镜、两个衍射光栅、七个平柱透镜、两个线阵光电耦合器、3dB-耦合器、分光镜、纵向微动工作台、横向微动工作台、数据采集卡、信号发生器、驱动控制、计算机和结果输出组成；利用拍波光片扫描被测表面，一个线阵光电耦合器探测拍波干涉信号，使量程为半拍波波长，另一线阵光电耦合器探测单波长干涉信号来决定分辨率，使系统有大量程及高分辨率。调节拍波波长，可得不同量程。只需一维扫描即完成表面三维测量，简化了机构，提高了测量速度。共路干涉使系统有强抗干扰性，适合在线测量。
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公开(公告)号：CN102564317B
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201110439808.6
申请日：2011-12-23
Applicant: 北京交通大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开了一种基于光纤复合干涉的高精度远程绝对位移测量系统，属于光学测量技术领域。所述系统由宽带光源、光纤隔离器、三个3dB-耦合器、四个自准直镜、两个光纤光栅、四个反射镜、两个探测器、环行器、一维平移台、压电陶瓷、反馈控制电路、信号发生器、信号处理电路、A/D转换卡、计算机和结果输出组成；本发明用一光纤干涉仪感应位移，另一光纤干涉仪解调位移，实现远程测量；用于解调的光纤干涉仪同时工作在低相干干涉和高相干干涉状态，用低相干干涉信号决定位移的幅值，实现绝对测量；用高相干干涉信号测量位移的值，反馈控制抑制环境干扰对解调光纤干涉仪的影响，实现高精度测量。
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公开(公告)号：CN102564317A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110439808.6
申请日：2011-12-23
Applicant: 北京交通大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开了一种基于光纤复合干涉的高精度远程绝对位移测量系统，属于光学测量技术领域。所述系统由宽带光源、光纤隔离器、三个3dB-耦合器、四个自准直镜、两个光纤光栅、四个反射镜、两个探测器、环行器、一维平移台、压电陶瓷、反馈控制电路、信号发生器、信号处理电路、A/D转换卡、计算机和结果输出组成；本发明用一光纤干涉仪感应位移，另一光纤干涉仪解调位移，实现远程测量；用于解调的光纤干涉仪同时工作在低相干干涉和高相干干涉状态，用低相干干涉信号决定位移的幅值，实现绝对测量；用高相干干涉信号测量位移的值，反馈控制抑制环境干扰对解调光纤干涉仪的影响，实现高精度测量。
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公开(公告)号：CN102564318A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110439810.3
申请日：2011-12-23
Applicant: 北京交通大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开了一种基于光纤复合干涉的高精度绝对位移测量系统，属于光学测量技术领域。所述系统由宽带光源、光纤隔离器、3dB-耦合器、二个自准直镜、光纤光栅、二个反射镜、两个探测器、环行器、一维平移台、压电陶瓷、反馈控制电路、信号发生器、信号处理电路、A/D转换卡、计算机和结果输出组成；本发明利用光纤光栅反射满足布拉格条件的波长的光，使光纤干涉仪同时工作在低相干干涉和高相干干涉状态，用低相干干涉信号决定被测位移的幅值，使测量量程不受光波波长的限制，并实现绝对测量；用高相干干涉信号测量位移的值，并用反馈控制抑制环境干扰对光纤干涉仪的影响，实现高精度测量。
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