公开(公告)号：CN113865482B

公开(公告)日：2024-01-30

申请号：CN202111061777.5

申请日：2021-09-10

Applicant: 北京交通大学

Inventor： 李家琨 ,  张海峰 ,  冯其波 ,  伍李鸿 ,  马栋 ,  丁要文

IPC: G01B11/00

Abstract: 本发明提供了一种用于同时测量旋转轴五自由度运动误差的系统，包括：光路连接的光源、测量单元和误差敏感单元；光源为激光器，用于发出激光；测量单元用于对光源发出的激光进行处理并传输至误差敏感单元，并根据误差敏感单元返回的衍射光测量旋转轴五自由度运动误差；误差敏感单元包括环形光栅和第一角锥棱镜，环形光栅固定于第一角锥棱镜的斜面中心位置上，第一角锥棱镜的锥心端固定于旋转轴的端面中心位置处，且环形光栅、第一角锥棱镜以及旋转轴三者的旋转中心轴重合，误差敏感单元用于对测量单元入射的光进行衍射和回射。本系统可以实现旋转轴的五自由度运动误差同时测量，极大的提高了检测效率。

公开(公告)号：CN113865482A

公开(公告)日：2021-12-31

申请号：CN202111061777.5

申请日：2021-09-10

Applicant: 北京交通大学

Inventor： 李家琨 ,  张海峰 ,  冯其波 ,  伍李鸿 ,  马栋 ,  丁要文

IPC: G01B11/00

Abstract: 本发明提供了一种用于同时测量旋转轴五自由度运动误差的系统，包括：光路连接的光源、测量单元和误差敏感单元；光源为激光器，用于发出激光；测量单元用于对光源发出的激光进行处理并传输至误差敏感单元，并根据误差敏感单元返回的衍射光测量旋转轴五自由度运动误差；误差敏感单元包括环形光栅和第一角锥棱镜，环形光栅固定于第一角锥棱镜的斜面中心位置上，第一角锥棱镜的锥心端固定于旋转轴的端面中心位置处，且环形光栅、第一角锥棱镜以及旋转轴三者的旋转中心轴重合，误差敏感单元用于对测量单元入射的光进行衍射和回射。本系统可以实现旋转轴的五自由度运动误差同时测量，极大的提高了检测效率。