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公开(公告)号：CN117782831B
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202311498100.7
申请日：2023-11-10
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
摘要： 本发明涉及材料性能测试技术领域，具体涉及一种分子泵涡轮材料蠕变测试装置及蠕变测试方法，分子泵涡轮材料蠕变测试装置包括：测试架安装分子泵，在分子泵内设有涡轮；分子泵设有的气体入口适于通入气体；测试盖板固定设置于测试架上；红外测试单元安装至测试盖板上，红外测试单元获取涡轮表面的温度；本申请通过开发设计专用测试装置，针对分子泵产品中的关键零件：涡轮进行材料蠕变测试，使用实际成型的涡轮在分子泵中进行检测，能够真实反映涡轮材料在实际使用中不同状态下涡轮材料的蠕变特性，进而获得分子泵涡轮材料性能的试验数据；真实反映涡轮材料的蠕变特性。
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公开(公告)号：CN117514855A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311563683.7
申请日：2023-11-22
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种磁悬浮分子泵及其控制方法，磁悬浮分子泵包括：泵体、径向组件、制冷组件和涡轮。温度传感器用于测定径向组件的温度，制冷组件设于径向组件的侧壁上，温度传感器与制冷组件通信连接，制冷组件的导冷块与径向组件的外周抵接，从而降低径向组件的温度，制冷组件的散热片朝向涡轮的内壁一侧设置，以适于提高涡轮的温度。制冷组件用于对径向组件进行降温的同时对涡轮进行加热，有效减少刻蚀工艺下，粉尘在涡轮表面的沉积，同时降低径向组件的温度，保证磁悬浮分子泵和刻蚀工艺的稳定运行。
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公开(公告)号：CN117932486B
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202311791841.4
申请日：2023-12-22
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
IPC分类号： G06F18/2431 , G06F18/2413 , G06N3/08
摘要： 本发明涉及检漏仪技术领域，公开了一种检漏设备工作状态的预测方法、装置、设备及存储介质，该方法包括：获取各个时刻检漏设备的数据信息；利用预先训练好的神经网络检测模型对数据信息进行检测，生成检测结果；基于检测结果进行分类，生成分类结果；基于分类结果，利用目标神经网络预测模型预测下一时刻检漏设备的工作状态结果。本发明通过获取各个时刻检漏设备的数据信息，并通过神经网络检测模型对数据信息进行检测，然后通过目标神经网络预测模型预测下一时刻检漏设备的工作状态结果，相较于通过人工进行检测的方式，本方法能够通过神经网络预测模型客观准确地预测下一时刻检漏设备的工作状态结果。
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公开(公告)号：CN117782831A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311498100.7
申请日：2023-11-10
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
摘要： 本发明涉及材料性能测试技术领域，具体涉及一种分子泵涡轮材料蠕变测试装置及蠕变测试方法，分子泵涡轮材料蠕变测试装置包括：测试架安装分子泵，在分子泵内设有涡轮；分子泵设有的气体入口适于通入气体；测试盖板固定设置于测试架上；红外测试单元安装至测试盖板上，红外测试单元获取涡轮表面的温度；本申请通过开发设计专用测试装置，针对分子泵产品中的关键零件：涡轮进行材料蠕变测试，使用实际成型的涡轮在分子泵中进行检测，能够真实反映涡轮材料在实际使用中不同状态下涡轮材料的蠕变特性，进而获得分子泵涡轮材料性能的试验数据；真实反映涡轮材料的蠕变特性。
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公开(公告)号：CN115931242A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202211507367.3
申请日：2022-11-29
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
IPC分类号： G01M3/20
摘要： 本申请是关于一种基于检漏仪的智能可穿戴设备，具体涉及真空检漏技术领域。所述智能可穿戴设备包括：无线通信模块、可视化眼镜模块；所述无线通信模块，用于接收所述检漏仪反馈的当前被检件的检漏信息；所述可视化眼镜模块，用于从所述无线通信模块读取所述当前被检件的检漏信息，并显示所述当前被检件的检漏信息。基于本技术方案，使得智能可穿戴设备的穿戴者可以方便快捷地获知检漏仪检测出的检漏信息，从而提高检漏效率。
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公开(公告)号：CN117932486A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202311791841.4
申请日：2023-12-22
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
IPC分类号： G06F18/2431 , G06F18/2413 , G06N3/08
摘要： 本发明涉及检漏仪技术领域，公开了一种检漏设备工作状态的预测方法、装置、设备及存储介质，该方法包括：获取各个时刻检漏设备的数据信息；利用预先训练好的神经网络检测模型对数据信息进行检测，生成检测结果；基于检测结果进行分类，生成分类结果；基于分类结果，利用目标神经网络预测模型预测下一时刻检漏设备的工作状态结果。本发明通过获取各个时刻检漏设备的数据信息，并通过神经网络检测模型对数据信息进行检测，然后通过目标神经网络预测模型预测下一时刻检漏设备的工作状态结果，相较于通过人工进行检测的方式，本方法能够通过神经网络预测模型客观准确地预测下一时刻检漏设备的工作状态结果。
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公开(公告)号：CN117869335A
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202311839828.1
申请日：2023-12-28
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
摘要： 本发明涉及真空泵技术领域，公开了一种自动稳压分子泵及其控制方法，自动稳压分子泵包括：电机、第一电磁阀组、真空规、控制系统、多级正向涡轮、多级反向涡轮，其中，多级正向涡轮和多级反向涡轮直联在自动稳压分子泵的电机上；第一电磁阀组与每级流口引出的气路连接；真空规与控制系统连接；控制系统还与第一电磁阀组连接，控制系统根据目标真空压力和真空规检测的压力值的差值，控制第一电磁阀组的开关状态，短接不同的涡轮级，从而调整压缩比。本发明通过设计分子泵反向涡轮，利用反向涡轮主动降低压缩比，并在各级涡轮的密封壳体上开了流口，采用电磁阀连接不同的涡轮真空级，实现不同的压缩比，从而将真空气压调整为需要的压力。
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公开(公告)号：CN117846986A
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202410005546.X
申请日：2024-01-02
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种分子泵，包括泵壳、设置在泵壳内的涡轮组件、以及驱动涡轮组件在泵壳内转动的驱动件，泵壳的一端设有进气口；泵壳靠近进气口的一端设有吸气件和加热件，吸气件用于吸附进气口处的气体分子，加热件用于对吸气件进行加热并将热量通过吸气件辐射到进气口处。通过在进气口位置设置吸气件和加热件，当涡轮组件达到满速运转后，加热件对吸气件加热，加热后的吸气件对泵壳内进气口处的气体分子进行吸附，同时加热的吸气件将热量辐射到进气口处的气体分子，温度升高后的气体分子的入射率增大，被涡轮组件快速携带并转移走，提高涡轮组件对气体分子的抽除效率；在吸附气体分子和加热气体分子的双重作用下，分子泵的抽气速度得以进一步提升。
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公开(公告)号：CN115931243B
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202211509046.7
申请日：2022-11-29
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
摘要： 本申请是关于一种基于氦质谱检漏仪的检漏方法、装置、设备及介质，具体涉及真空检漏技术领域。该方法包括：获取不同漏率段分别对应的线性表达式，所述线性表达式中包括漏率与氦分子的渗透率之间的线性关系；在当前基于所述氦质谱检漏仪进行漏孔检测的情况下，将检测到的氦分子的渗透率记为第一渗透率；将所述第一渗透率代入不同漏率段分别对应的线性表达式进行比对，以确定当前的漏率。基于本技术方案，可以避免基于同一线性度进行漏率计算的不准确性，提高氦质谱检漏仪检测结果的可靠性。
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