公开(公告)号：CN110655867A

公开(公告)日：2020-01-07

申请号：CN201910540392.3

申请日：2019-06-21

Applicant: 凯斯科技股份有限公司

Inventor： 孔铉九 ,  黄珍淑 ,  李相美 ,  黄寅卨 ,  辛娜喇

IPC: C09G1/02 ,  H01L21/306

Abstract: 本发明涉及一种抛光料浆组合物，更具体地，涉及一种包括胶体二氧化硅抛光粒子；金属氧化物单分子螯合剂；氧化剂；以及pH调节剂、水溶性聚合物或两者全部的抛光料浆组合物。

公开(公告)号：CN116376447A

公开(公告)日：2023-07-04

申请号：CN202211681435.8

申请日：2022-12-27

Applicant: 凯斯科技股份有限公司

Inventor： 金廷润 ,  黄寅卨 ,  孔铉九

IPC: C09G1/02 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明涉及一种用于接触工艺的金属膜浆料组合物，并涉及抛光浆料组合物，其包括：抛光粒子；含有一个以上的能够形成氢键的官能团的化合物；在重复单元结构中含有一个以上的亲水性官能团的非离子聚合物；以及氧化剂。

公开(公告)号：CN113308197A

公开(公告)日：2021-08-27

申请号：CN202110189636.5

申请日：2021-02-19

Applicant: 凯斯科技股份有限公司

Inventor： 黄珍淑 ,  孔铉九 ,  黄寅卨

IPC: C09G1/02

Abstract: 本发明涉及一种用于化学机械抛光的浆料组合物。根据发明一实施例的用于化学机械抛光的浆料组合物包括：抛光粒子；氧化剂；以及碳抛光抑制剂。