溅射玻璃镀膜用镍基变形合金靶材

    公开(公告)号:CN1048528C

    公开(公告)日:2000-01-19

    申请号:CN97116519.X

    申请日:1997-09-12

    Abstract: 本发明属于合金钢领域。特别适用于溅射玻璃镀膜用镍基合金靶材。该材料的化学成分是C≤0.08%,Si≤0.8%,Mn≤0.50%,S≤0.015%,P≤0.02%,Cr23-27%,Ti1.5-3.5%,Mo1.0-2.9%,Al≤0.45%,B0.001-0.01%,Zr0.001-0.05%,Fe≤2%,其余为镍。该靶材与现有技术相比较具有成分简单、经济、靶材溅射附着力强,使用寿命长、性能好,镀膜不起斑点、耐蚀耐磨、色泽漂亮等特点。

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