公开(公告)号：CN103245423A

公开(公告)日：2013-08-14

申请号：CN201310175437.4

申请日：2013-04-28

Applicant: 内蒙古工业大学

Inventor： 白福忠 ,  王晓强 ,  刘珍 ,  索晓红 ,  吴亚琴 ,  田枫

IPC: G01J9/02 ,  G02B27/10

Abstract: 本发明涉及一种共光路偏振点衍射移相干涉波前传感器。包括偏振片、第一和第二双折射透镜、移相干涉系统、CCD传感器、计算机；还包括在第一和第二双折射透镜共焦平面处添加一个含有针孔的偏振PDI掩模板。待测线偏振光束被第一双折射透镜分为两束，E光会聚于偏振PDI掩模板上的针孔发生小孔衍射作为参考光；O光几乎无衰减通过偏振PDI掩模板作为测试光；参考光和测试光通过移相干涉系统形成四帧时间或空间移相干涉图，通过旋转偏振片调节条纹对比度，进而使用移相算法重建待测波前相位。本发明采用共光路结构、无需专门的参考光、且系统稳定性强、条纹对比度可调，可适用于各类波前相位的动、静态高精度检测。

公开(公告)号：CN103245423B

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201310175437.4

申请日：2013-04-28

Applicant: 内蒙古工业大学

Inventor： 白福忠 ,  王晓强 ,  刘珍 ,  索晓红 ,  吴亚琴 ,  田枫

IPC: G01J9/02 ,  G02B27/10

Abstract: 本发明涉及一种共光路偏振点衍射移相干涉波前传感器。包括偏振片、第一和第二双折射透镜、移相干涉系统、CCD传感器、计算机；还包括在第一和第二双折射透镜共焦平面处添加一个含有针孔的偏振PDI掩模板。待测线偏振光束被第一双折射透镜分为两束，E光会聚于偏振PDI掩模板上的针孔发生小孔衍射作为参考光；O光几乎无衰减通过偏振PDI掩模板作为测试光；参考光和测试光通过移相干涉系统形成四帧时间或空间移相干涉图，通过旋转偏振片调节条纹对比度，进而使用移相算法重建待测波前相位。本发明采用共光路结构、无需专门的参考光、且系统稳定性强、条纹对比度可调，可适用于各类波前相位的动、静态高精度检测。

公开(公告)号：CN203298878U

公开(公告)日：2013-11-20

申请号：CN201320260995.6

申请日：2013-05-03

Applicant: 内蒙古工业大学

Inventor： 白福忠 ,  田枫 ,  吴亚琴 ,  包晓艳 ,  甘世明

IPC: G01J9/02

Abstract: 本实用新型涉及一种条纹对比度与载频可调的环路点衍射干涉波前传感器。包括起偏器、偏振分束镜、第一和第二傅里叶透镜、第一和第二反射镜、检偏器、CCD传感器、计算机；还包括在第一和第二傅里叶透镜的共焦平面处添加一个含有针孔的偏振PDI掩模板。待测线偏振光束被偏振分束镜分为两束，一束通过针孔发生小孔衍射作为参考光，另一束直接通过偏振PDI掩模板上非针孔区域作为测试光；通过调节起偏器旋转角度与偏振分束镜倾斜角度获得对比度最高、载频适当的干涉条纹，从而快速准确重建待测波前相位。本实用新型采用共光路结构、无需专门的参考光、且具有系统稳定性强、条纹对比度与载频可调、测量精度高且测量动态范围大的特点。