公开(公告)号：CN102326235B

公开(公告)日：2015-05-20

申请号：CN201080008820.5

申请日：2010-02-23

Applicant: 关东化学株式会社 ,  夏普株式会社

Inventor： 黑岩健次 ,  永島和明 ,  加藤勝 ,  野原正寛

IPC: H01L21/308 ,  C23F1/20 ,  C23F1/26 ,  G02F1/1368

CPC classification number: C23F1/20 ,  C23F1/26 ,  C23F1/44 ,  H01L21/32134

Abstract: 本发明涉及一种蚀刻液组合物、使用该蚀刻液组合物的蚀刻方法，所述蚀刻液组合物为包含氟化物和铁离子的蚀刻液组合物，其被用于对上部层积了由铝或铝合金构成的层、下部层积了由钛或钛合金构成的层的金属层积膜进行一次性蚀刻。

公开(公告)号：CN102326235A

公开(公告)日：2012-01-18

申请号：CN201080008820.5

申请日：2010-02-23

Applicant: 关东化学株式会社 ,  夏普株式会社

Inventor： 黑岩健次 ,  永島和明 ,  加藤勝 ,  野原正寛

IPC: H01L21/308 ,  C23F1/20 ,  C23F1/26 ,  G02F1/1368

CPC classification number: C23F1/20 ,  C23F1/26 ,  C23F1/44 ,  H01L21/32134

Abstract: 本发明涉及一种蚀刻液组合物、使用该蚀刻液组合物的蚀刻方法，所述蚀刻液组合物为包含氟化物和铁离子的蚀刻液组合物，其被用于对上部层积了由铝或铝合金构成的层、下部层积了由钛或钛合金构成的层的金属层积膜进行一次性蚀刻。