一种微型原子氧密度传感器的制造方法

    公开(公告)号:CN117110131A

    公开(公告)日:2023-11-24

    申请号:CN202310947749.6

    申请日:2023-07-31

    IPC分类号: G01N9/00

    摘要: 本发明提供一种微型原子氧密度传感器的制造方法,涉及空间环境探测技术领域。该方法包括:准备基底;在基底表面制备下绝缘层;在下绝缘层表面制备加热及测温电阻薄膜;在加热及测温电阻薄膜表面制备上绝缘层,使其包覆于上绝缘层和下绝缘层中;在上绝缘层中制备加热及测温引线窗口以将加热及测温电阻薄膜的引出端引出;在上绝缘层的表面制备传感电极;在传感电极的表面制备纳米氧化锌薄膜,并与传感电极之间形成电连接;处理基底的背面以在下绝缘层下方形成悬空支撑结构。本发明利用纳米结构增强ZnO半导体薄膜原子氧传感灵敏度、高集成度微型传感MEMS器件设计降低系统尺寸及功耗等有益方案的结合,可实现空间原子氧密度的在轨连续监测。

    一种聚酰亚胺薄膜高强度拼接方法

    公开(公告)号:CN104530992A

    公开(公告)日:2015-04-22

    申请号:CN201410784152.5

    申请日:2014-12-16

    IPC分类号: C09J5/06

    摘要: 本发明公开了一种聚酰亚胺薄膜高强度拼接方法,步骤一、将聚酰亚胺薄膜a的待拼接部位固定在薄膜拼接装置的铝合金底座上;步骤二、将聚氨酯热熔胶粉末均匀涂覆于聚酰亚胺薄膜a的待拼接部位表面;步骤三、将聚酰亚胺薄膜b的待拼接部位覆盖在聚氨酯热熔胶粉末上,并固定在铝合金底座上;步骤四、打开电源,将铝合金底座加热至300℃,保持2分钟;步骤五、将薄膜拼接装置的压模压在聚酰亚胺薄膜b的待拼接部位,保持2分钟;步骤六、关闭电源,自然冷却,完成聚酰亚胺薄膜的高强度拼接;本发明可适用于聚酰亚胺薄膜材料的高强度拼接;可根据具体薄膜拼接要求采用拼接装置,操作简单、拼接强度高、可实现不同型面薄膜的拼接制备。

    一种太阳帆航天器姿态控制方法

    公开(公告)号:CN104340380A

    公开(公告)日:2015-02-11

    申请号:CN201410577955.3

    申请日:2014-10-24

    IPC分类号: B64G1/24

    摘要: 本发明公开了一种太阳帆航天器姿态控制方法。使用本发明能够实现对航天器的姿态控制。本发明在航天器的太阳帆上表面的外边缘区域粘贴可变反射率柔性薄膜器件,通过控制可变反射率柔性薄膜器件的电压,从而改变可变反射率柔性薄膜器件的反射率,从而改变航天器太阳帆表面光压,产生差动力矩,从而实现对航天器的姿态控制。该姿态控制器件为薄膜型器件,更容易与太阳帆航天器集成,提高太阳帆的集成度,提升其可靠性,并且该姿态控制器件重量轻,能够极大减轻航天器重量,提高载荷比,大幅提升太阳帆姿态控制性能,且由于没有机械结构,可靠性高。