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公开(公告)号：CN101324757A
公开(公告)日：2008-12-17
申请号：CN200710018173.6
申请日：2007-06-14
Applicant: 兰州理工大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 空间相锁定扫描电子束蚀刻方法，其目的是对电子束的位置进行高精度的实时测量，使电子束的位置测量精度达到1nm，在电子束蚀刻胶膜上蒸镀一层SiO膜，再在其上蒸镀一层Cu膜，在Cu膜上面涂一层的紫外光光学感光胶，用激光干涉蚀刻方法进行两次正交曝光，获得一基准网格，采用通用的扫描电子束蚀刻方法，通过探测基准网格发射的二次电子信号，确定电子束的空间位置。本发明在电子束感光材料上面制造一个光栅常数较大的基准网格，通过测量基准网格的二次电子信号的位相来确定电子束位置，实现了在书写过程中对电子束位置进行连续测量，并且可以精确控制各点的曝光剂量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100550436C
公开(公告)日：2009-10-14
申请号：CN200710018344.5
申请日：2007-07-02
Applicant: 兰州理工大学
IPC: H01L31/072 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 一种太阳能电池结构及其制备方法，采用C60(OH)24作为异质结的n型材料，以共轭导电聚合物聚噻酚衍生物PEDOT为异质结的p型材料，将以上两种材料与单壁碳纳米管聚合成共混异质结膜，以在玻璃板上涂有氧化铟锡的薄膜作为阳极，以铝膜为阴极；其制备方法为：首先将制备的纯度为99.5%的C60加入浓硝酸和浓硫酸混合溶液中，在超声振荡下反应三天，再加入NaOH水溶液，使pH值达到7，蒸发掉溶剂，得到水溶性C60(OH)24的结晶体；在丙酮中用超声清洗涂有氧化铟锡薄膜的玻璃板；用浓硝酸和浓硫酸氧化法提纯单壁纳米碳管；将C60(OH)24、PEDOT和单壁碳纳米管在超声振荡下制成的水溶液旋涂在氧化铟锡薄膜上，在120℃下干燥45分钟，形成共混异质结膜。
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公开(公告)号：CN101257054A
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：CN200710018344.5
申请日：2007-07-02
Applicant: 兰州理工大学
IPC: H01L31/072 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 一种太阳能电池结构及其制备方法，采用C60(OH)24作为异质结的n型材料，以共轭导电聚合物聚噻酚衍生物PEDOT为异质结的p型材料，将以上两种材料与单壁碳纳米管聚合成共混异质结膜，以在玻璃板上涂有氧化铟锡的薄膜作为阳极，以铝膜为阴极；其制备方法为：首先将制备的纯度为99.5％的C60加入浓硝酸和浓硫酸混合溶液中，在超声振荡下反应三天，再加入NaOH水溶液，使pH值达到7，蒸发掉溶剂，得到水溶性C60(OH)24的结晶体；在丙酮中用超声清洗涂有氧化铟锡薄膜的玻璃板；用浓硝酸和浓硫酸氧化法提纯单壁纳米碳管；将C60(OH)24、PEDOT和单壁碳纳米管在超声振荡下制成的水溶液旋涂在氧化铟锡薄膜上，在120℃下干燥45分钟，形成共混异质结膜。
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公开(公告)号：CN101254895A
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：CN200710018343.0
申请日：2007-07-02
Applicant: 兰州理工大学
IPC: B82B3/00
Abstract: 碳纳米管的定向排列方法及制备装置，其方法步骤为：将聚合物和碳纳米管混合物注入到缸体内，用活塞压缩使之通过层流场、磁场，或者用活塞压缩使之通过层流场、电场，使碳纳米管在聚合物中进行向排列；其制备装置中活塞1安装在第一缸体2中，第一缸体2与第二缸体4同轴连接，磁场线圈7安装在第二缸体4的外园上，第二缸体4的右端出口处安装有第一网孔5，第二缸体4的右端与喷注管12同轴连接，或者第一缸体2与第三缸体11同轴连接，电源正极10安装在第三缸体11的一侧，第三缸体11的右端出口处安装有第三网孔9，第三缸体11的右端与喷注管12同轴连接。
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公开(公告)号：CN100408472C
公开(公告)日：2008-08-06
申请号：CN200510022728.5
申请日：2005-12-15
Applicant: 兰州理工大学
IPC: C01B31/02
Abstract: 纳米碳管管束的制备方法及制备装置，将铁、钴粉末与石墨粉末均匀混合，以甘油为添加剂，轧制成石墨棒，然后在300℃下等温处理48小时；将四根石墨棒沿四个方向与阴极石墨块方向正对，一次连续蒸发四根石墨棒，形成棒状物、网状物和膜状物三种沉积产物，分别采用混酸氧化、空气焙烧和强氧化剂氧化的提纯方法得到纯化的碳纳米管管束。其制备装置中的沉积筒(1)安装在真空室(11)的中央位置处，在沉积筒(1)的外壁上缠绕有冷却管(1′)，每根阳极石墨棒(10)的一端靠近阴极石墨块(2)，另一端安装在真空室(11)壁上。本发明可连续生产，提高了效率，降低了成本，可获得宏观量的优质单壁纳米碳管管束。
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公开(公告)号：CN1865131A
公开(公告)日：2006-11-22
申请号：CN200510022728.5
申请日：2005-12-15
Applicant: 兰州理工大学
IPC: C01B31/02
Abstract: 纳米碳管管束的制备方法及制备装置，将铁、钴粉末与石墨粉末均匀混合，以甘油为添加剂，轧制成石墨棒，然后在300℃下等温处理48小时；将四根石墨棒沿四个方向与阴极石墨块方向正对，一次连续蒸发四根石墨棒，形成棒状物、网状物和膜状物三种沉积产物，分别采用混酸氧化、空气焙烧和强氧化剂氧化的提纯方法得到纯化的碳纳米管管束。其制备装置中的沉积筒(1)安装在真空室(11)的中央位置处，在沉积筒(1)的外壁上缠绕有冷却管(1′)，每根阳极石墨棒(10)的一端靠近阴极石墨块(2)，另一端安装在真空室(11)壁上。本发明可连续生产，提高了效率，降低了成本，可获得宏观量的优质单壁纳米碳管管束。
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