一种基于硅棒线切割废料制备硅氧化物的方法

    公开(公告)号:CN113816385A

    公开(公告)日:2021-12-21

    申请号:CN202111134126.4

    申请日:2021-09-27

    Applicant: 兰州大学

    Abstract: 本发明提供一种基于硅棒线切割废料制备硅氧化物的方法,涉及硅材料领域。本发明将硅棒线切割产生的硅废料通过热氧化(和归中反应)直接得到硅氧化物材料,不需要经过蒸发和冷凝过程,也无需经过粉碎破裂,工艺过程简单,成本低廉;通过控制反应条件,可以实现氧原子和硅原子比例在0.16∶1~2∶1范围内的调节;充分利用硅棒线切割产生的硅废料来制备硅氧化物,进一步将其应用到制备锂离子电池或石英坩埚中,能够促进硅废料的高价值利用。

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