公开(公告)号：CN102637584A

公开(公告)日：2012-08-15

申请号：CN201210117732.X

申请日：2012-04-20

Applicant: 兰州大学

Inventor： 耿柏松 ,  王枫 ,  闫鹏勋 ,  卓仁富 ,  吴志国 ,  王君 ,  闫德

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/00

Abstract: 本发明公开一种图形化石墨烯的转移制备方法，该方法包括如下步骤：先在生长在催化金属衬底上的石墨烯表面按照设计的图案涂覆粘性材料；再在石墨烯表面涂覆一层PDMS，加热固化；将得到的样品浸泡在腐蚀溶液中，腐蚀去掉催化金属衬底，黏附有粘性材料和PDMS的石墨烯漂浮在溶液中；将所得黏附有粘性材料和PDMS的石墨烯转移到目标衬底上；再将PDMS从上述目标衬底剥离，得到图形化的石墨烯。本发明的方法对目标衬底的材料使用上没有限制，在剥离PDMS时，能够得到预想的图形，不会对石墨烯造成额外的结构性破损，同时保持石墨烯表面洁净，无需昂贵的刻蚀设备，即可实现图形化石墨烯制作。

公开(公告)号：CN102637584B

公开(公告)日：2014-07-02

申请号：CN201210117732.X

申请日：2012-04-20

Applicant: 兰州大学

Inventor： 耿柏松 ,  王枫 ,  闫鹏勋 ,  卓仁富 ,  吴志国 ,  王君 ,  闫德

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/00

Abstract: 本发明公开一种图形化石墨烯的转移制备方法，该方法包括如下步骤：先在生长在催化金属衬底上的石墨烯表面按照设计的图案涂覆粘性材料；再在石墨烯表面涂覆一层PDMS，加热固化；将得到的样品浸泡在腐蚀溶液中，腐蚀去掉催化金属衬底，黏附有粘性材料和PDMS的石墨烯漂浮在溶液中；将所得黏附有粘性材料和PDMS的石墨烯转移到目标衬底上；再将PDMS从上述目标衬底剥离，得到图形化的石墨烯。本发明的方法对目标衬底的材料使用上没有限制，在剥离PDMS时，能够得到预想的图形，不会对石墨烯造成额外的结构性破损，同时保持石墨烯表面洁净，无需昂贵的刻蚀设备，即可实现图形化石墨烯制作。