一种制备氮化铝纳米管阵列的方法

    公开(公告)号:CN104016315A

    公开(公告)日:2014-09-03

    申请号:CN201410258247.3

    申请日:2014-06-12

    Applicant: 兰州大学

    Abstract: 本发明公开一种制备氮化铝纳米管阵列的方法,该方法包括如下步骤,(1)抽真空;(2)氨气以及氯化铝于150~200℃蒸发产生的蒸气在载气的作用下混合流过温度为750~850℃的生长衬底表面,混合流过40-60min后,即在生长衬底上得到氮化铝纳米管阵列。与现有气相沉积法生长氮化铝纳米管相比,本发明所述方法的生长温度更低,且无需使用催化剂,在常用的生长衬底均可生长得到氮化铝纳米管阵列。

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