公开(公告)号：CN101607707A

公开(公告)日：2009-12-23

申请号：CN200910117347.3

申请日：2009-06-27

Applicant: 兰州大学

Inventor： 段辉高 ,  谢二庆 ,  赵建果 ,  刘延霞 ,  徐显波 ,  刘利新

IPC: C01B31/04

Abstract: 本发明提供了一种采用电子束辐照技术制备层数和宽度可控的石墨烯的方法，该方法采用电子束辐照聚甲基丙烯酸甲酯纳米纤维，使聚甲基丙烯酸甲酯纳米纤维逐渐石墨化，形成有序的平行于电子束辐照方向的多层石墨烯。石墨烯的层数和宽度通过电子束的电流密度、辐照时间的长短和电子束的束斑尺寸来控制。本发明制备石墨烯快捷而且精确可控，不需要高温，因此，很适于在微纳电子学基础研究中应用。

公开(公告)号：CN101613099A

公开(公告)日：2009-12-30

申请号：CN200910117348.8

申请日：2009-06-27

Applicant: 兰州大学

Inventor： 段辉高 ,  谢二庆 ,  刘延霞 ,  赵建果 ,  张洪亮 ,  张永哲

IPC: C01B31/02 ,  B82B3/00 ,  G03F7/20 ,  G03F7/32

Abstract: 本发明提供了一种采用电子束曝光聚甲基丙烯酸甲酯薄膜制备图案化碳纳米材料的方法。该方法是先在约1×10－5Pa的真空下，采用电子束曝光聚甲基丙烯酸甲酯薄膜，再用甲基异丁基酮和异丙醇的混合溶液显影聚甲基丙烯酸甲酯薄膜，然后用纯异丙醇清洗，最后在高纯氮气环境下干燥。本发明通过控制电子束光刻的剂量、电子束的束斑尺寸以及聚甲基丙烯酸甲酯的厚度来实现不同图案的碳纳米结构材料的控制，图案的精确度高。主要应用于集成电路，场发射，纳米电极，光学器件，生物传感器等方面。

公开(公告)号：CN101607692A

公开(公告)日：2009-12-23

申请号：CN200910117346.9

申请日：2009-06-27

Applicant: 兰州大学

Inventor： 段辉高 ,  谢二庆 ,  赵建果 ,  刘利新 ,  陈长城 ,  刘延霞

IPC: B82B3/00

Abstract: 本发明提供了一种利用聚焦电子束简单、高效制作高精度纳米孔及纳米孔阵列的方法，该方法是在真空度为1×10－7～1×10－10Torr，工作电压为100kV～200kV下，采用强度是为1×107～1×108e/nm2s的聚焦电子束辐照聚甲基丙烯酸甲酯纳米纤维1～60s，得到孔径在0.5nm～10nm之间的纳米孔；偏转电子束继续辐照聚甲基丙烯酸甲酯纳米纤维，可得到纳米孔阵列。本发明通过电子束的强度和辐照时间可以精确控制纳米孔的尺寸(精度可达0.1纳米)；利用静电控制电子束偏转从而控制纳米孔的周期，纳米孔阵列的周期可控制在1nm到20nm之间。主要应用于DNA序列检测、生物传感器、纳米生物电子学以及光子晶体等领域。