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公开(公告)号:CN107250740A
公开(公告)日:2017-10-13
申请号:CN201580070737.3
申请日:2015-11-05
Applicant: 光谱引擎股份公司
CPC classification number: G01J3/26 , G01J3/0202 , G01J3/0256 , G01J3/0286
Abstract: 本发明涉及光学测量系统(1),包括:电调谐的珀耳帖元件(11),用于探测来自测量区域(26)中的辐射源(25)的辐射的探测器(23),所述探测器(23)与所述珀耳帖元件(11)热连接,设于所述探测器(23)之前的所述辐射的路径(16)中的电调谐的法布里‑珀罗干涉仪(10),所述法布里‑珀罗干涉仪(10)与所述珀耳帖元件(11)热连接,以及配置成控制所述珀耳帖元件(11)、所述干涉仪(10)和所述探测器(23)的控制电子电路。本发明还涉及一种用于分析对象的光谱的方法。
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公开(公告)号:CN106687781B
公开(公告)日:2020-06-12
申请号:CN201580044465.X
申请日:2015-06-29
Applicant: 光谱引擎股份公司
Abstract: 一种用于确定法布里‑珀罗干涉仪(100)的光谱标定数据(λcal(Sd),Sd,cal(λ))的方法,包括:‑通过采用法布里‑珀罗标准具(50)对输入光(LB1)进行滤波而形成多个滤波后的光谱峰(P'1,P'2),使得第一滤波后的峰(P'1)对应于所述标准具(50)的第一透射率峰(P1),并且使得第二滤波后的峰(P'2)对应于所述标准具(50)的第二透射率峰(P1),‑利用所述法布里‑珀罗干涉仪(100)来测量滤波后的光谱峰(P'1,P'2)的光谱强度分布(M(Sd)),其中通过改变所述法布里‑珀罗干涉仪(100)的镜间隙(dFP),并且通过提供表示所述镜间隙(dFP)的控制信号(Sd)来测量所述光谱强度分布(M(Sd)),以及‑通过使测量的光谱强度分布(M(Sd))与所述标准具(50)的光谱透射率(TE(λ))相匹配来确定所述光谱标定数据(λcal(Sd),Sd,cal(λ))。
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公开(公告)号:CN107110706A
公开(公告)日:2017-08-29
申请号:CN201580072516.X
申请日:2015-11-04
Applicant: 光谱引擎股份公司
CPC classification number: G01J3/45 , G01J3/0202 , G01J3/0256 , G01J3/0286 , G01J3/26 , G01J3/32 , G02B5/28
Abstract: 本发明涉及一种光学测量方法,其包括以下步骤:用光照射对象(OBJ1),接收来自所照射的对象(OBJ1)至可调谐的法布里‑珀罗干涉仪(100)的光(LBJ1),改变所述法布里‑珀罗干涉仪(100)的反射镜间隙(dFP),以及检测在不同的间隙长度(dFP)下通过所述法布里‑珀罗干涉仪的反射镜间隙(dFP)的信号(LB3)。根据本发明,在不同的间隙长度(dFP)下以不同的时间长度执行所述检测。
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公开(公告)号:CN106687781A
公开(公告)日:2017-05-17
申请号:CN201580044465.X
申请日:2015-06-29
Applicant: 光谱引擎股份公司
Abstract: 一种用于确定法布里‑珀罗干涉仪(100)的光谱标定数据(λcal(Sd),Sd,cal(λ))的方法,包括:‑通过采用法布里‑珀罗标准具(50)对输入光(LB1)进行滤波而形成多个滤波后的光谱峰(P'1,P'2),使得第一滤波后的峰(P'1)对应于所述标准具(50)的第一透射率峰(P1),并且使得第二滤波后的峰(P'2)对应于所述标准具(50)的第二透射率峰(P1),‑利用所述法布里‑珀罗干涉仪(100)来测量滤波后的光谱峰(P'1,P'2)的光谱强度分布(M(Sd)),其中通过改变所述法布里‑珀罗干涉仪(100)的镜间隙(dFP),并且通过提供表示所述镜间隙(dFP)的控制信号(Sd)来测量所述光谱强度分布(M(Sd)),以及‑通过使测量的光谱强度分布(M(Sd))与所述标准具(50)的光谱透射率(TE(λ))相匹配来确定所述光谱标定数据(λcal(Sd),Sd,cal(λ))。
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