专利检索 ap:("先进技术材料股份有限公司") AND inv:"C·派迪" 第 1 页

1.

发明公开
由固体材料制备化合物或其中间体以及使用该化合物和中间体的设备和方法有权转让

公开(公告)号：CN103201824A

公开(公告)日：2013-07-10

申请号：CN201180052929.3

申请日：2011-08-28

申请人： 先进技术材料股份有限公司

发明人： O·比尔 , E·E·琼斯 , C·派迪 , J·D·斯威尼

IPC分类号： H01L21/265

CPC分类号： B01J8/0285 , B01J8/0465 , B01J2208/00017 , B01J2208/00389 , B01J2208/00433 , B01J2208/00539 , C01B35/061

摘要： 描述了一种设备，包括反应区，用于反应物气体与反应性固体在有效形成中间产物的条件下接触，和开口，用于使气体试剂未反应部分和中间产物离开反应区。本设备可有利地用于形成作为中间产物与反应物气体的反应产物的最终产物。反应物气体与反应性固体的反应可在第一反应区进行，而反应物气体与中间产物的反应在第二反应区进行。在具体实施中，反应物气体与中间产物的反应是可逆的，且反应物气体和中间产物以受控速率或以受控方式流入第二反应区，从而抑制形成反应性固体的逆反应。