公开(公告)号：CN104883651B

公开(公告)日：2018-07-20

申请号：CN201510063342.2

申请日：2015-02-06

申请人： 先技股份有限公司

发明人： 刘茂诚 ,  赵皓名 ,  周文介 ,  吕柏纬 ,  翁淑怡 ,  王竣傑

IPC分类号： H04R19/04

CPC分类号： H04R17/02 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/0257 ,  B81B2203/0127 ,  H04R2201/003

摘要： 一种微机电麦克风装置，包括基板、微机电麦克风薄膜与氧化层。基板具有第一凹陷部。微机电麦克风薄膜位于基板上方且覆盖第一凹陷部并定义出第一空腔，微机电麦克风薄膜包括弹性部与结合部。弹性部位于微机电麦克风薄膜的中央位置，且被多个第一沟槽包围，所述多个第一沟槽彼此分离地沿弹性部的边缘排列并贯穿弹性部的相对两面。结合部位于微机电麦克风薄膜的边缘位置，连接弹性部。氧化层具有第二凹陷部，连接微机电麦克风薄膜的结合部，第二凹陷部暴露出至少部分的微机电麦克风薄膜。

公开(公告)号：CN104883651A

公开(公告)日：2015-09-02

申请号：CN201510063342.2

申请日：2015-02-06

申请人： 先技股份有限公司

发明人： 刘茂诚 ,  赵皓名 ,  周文介 ,  吕柏纬 ,  翁淑怡 ,  王竣傑

IPC分类号： H04R19/04

CPC分类号： H04R17/02 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/0257 ,  B81B2203/0127 ,  H04R2201/003

摘要： 一种微机电麦克风装置，包括基板、微机电麦克风薄膜与氧化层。基板具有第一凹陷部。微机电麦克风薄膜位于基板上方且覆盖第一凹陷部并定义出第一空腔，微机电麦克风薄膜包括弹性部与结合部。弹性部位于微机电麦克风薄膜的中央位置，且被多个第一沟槽包围，所述多个第一沟槽彼此分离地沿弹性部的边缘排列并贯穿弹性部的相对两面。结合部位于微机电麦克风薄膜的边缘位置，连接弹性部。氧化层具有第二凹陷部，连接微机电麦克风薄膜的结合部，第二凹陷部暴露出至少部分的微机电麦克风薄膜。