公开(公告)号：CN103959453B

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：CN201180075019.7

申请日：2011-11-25

Applicant: 信越工程株式会社 ,  新光工程株式会社

Inventor： 横田道也 ,  渡边将幸

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/06 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1333 ,  G09F9/00

CPC classification number: H01L21/67092 ,  G02F1/1303

Abstract: 本发明提供一种将基板容纳在输送托盘进行输送且无需将其移载就可以使基板彼此粘合的基板输送装置及基板装配线。本发明的基板输送装置，在内部板(1a)上保持了第一基板(W1)或第二基板(W2)中的任意一方基板的输送托盘(1)被搬入到基板装配线的粘合位置(P1)，在粘合位置(P1)上，使其与第一基板(W1)或第二基板(W2)中的另一方基板对置，并且通过来自按压单元(B)的按压力使第一基板(W1)和第二基板(W2)粘合，并以将包含该被粘合的第一基板(W1)及第二基板(W2)的基板组(W)保持在内部板(1a)上的状态，从粘合位置(P1)搬出输送托盘(1)。

公开(公告)号：CN103959453A

公开(公告)日：2014-07-30

申请号：CN201180075019.7

申请日：2011-11-25

Applicant: 信越工程株式会社 ,  新光工程株式会社

Inventor： 横田道也 ,  渡边将幸

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/06 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1333 ,  G09F9/00

CPC classification number: H01L21/67092 ,  G02F1/1303

Abstract: 本发明提供一种将基板容纳在输送托盘进行输送且无需将其移载就可以使基板彼此粘合的基板输送装置及基板装配线。本发明的基板输送装置，在内部板(1a)上保持了第一基板(W1)或第二基板(W2)中的任意一方基板的输送托盘(1)被搬入到基板装配线的粘合位置(P1)，在粘合位置(P1)上，使其与第一基板(W1)或第二基板(W2)中的另一方基板对置，并且通过来自按压单元(B)的按压力使第一基板(W1)和第二基板(W2)粘合，并以将包含该被粘合的第一基板(W1)及第二基板(W2)的基板组(W)保持在内部板(1a)上的状态，从粘合位置(P1)搬出输送托盘(1)。