公开(公告)号：CN110963952B

公开(公告)日：2022-10-21

申请号：CN201910920497.1

申请日：2019-09-27

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 大桥正树 ,  本田和也 ,  须贺祐辉 ,  计良祐纪

IPC: C07C381/12 ,  C07C317/12 ,  C07C25/18 ,  C07C317/04 ,  C07C317/08 ,  C07C317/18 ,  C07C317/14 ,  C07C317/24 ,  C07D327/08 ,  C07D333/76 ,  C07D279/20 ,  C07D335/16 ,  C07D339/08 ,  C07D335/12 ,  C07D333/08 ,  C07D335/02 ,  C07D327/06 ,  C07C211/63 ,  C07C211/64 ,  C07D277/10 ,  C07C215/40 ,  C07D487/18 ,  G03F7/004 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明涉及鎓盐、抗蚀剂组合物和图案形成方法。提供具有式(1)的新型鎓盐和包含该鎓盐作为猝灭剂的抗蚀剂组合物。当使用高能辐射通过光刻法加工抗蚀剂组合物时，形成抗蚀剂图案，其在LWR和CDU方面得到改善。在式(1)中，R1、R2和R3各自为含有除氟以外的杂原子的C1‑C20一价烃基，Z+为锍、碘鎓或铵阳离子。

公开(公告)号：CN110963952A

公开(公告)日：2020-04-07

申请号：CN201910920497.1

申请日：2019-09-27

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 大桥正树 ,  本田和也 ,  须贺祐辉 ,  计良祐纪

IPC: C07C381/12 ,  C07C317/12 ,  C07C25/18 ,  C07C317/04 ,  C07C317/08 ,  C07C317/18 ,  C07C317/14 ,  C07C317/24 ,  C07D327/08 ,  C07D333/76 ,  C07D279/20 ,  C07D335/16 ,  C07D339/08 ,  C07D335/12 ,  C07D333/08 ,  C07D335/02 ,  C07D327/06 ,  C07C211/63 ,  C07C211/64 ,  C07D277/10 ,  C07C215/40 ,  C07D487/18 ,  G03F7/004 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明涉及鎓盐、抗蚀剂组合物和图案形成方法。提供具有式(1)的新型鎓盐和包含该鎓盐作为猝灭剂的抗蚀剂组合物。当使用高能辐射通过光刻法加工抗蚀剂组合物时，形成抗蚀剂图案，其在LWR和CDU方面得到改善。在式(1)中，R1、R2和R3各自为含有除氟以外的杂原子的C1-C20一价烃基，Z+为锍、碘鎓或铵阳离子。