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公开(公告)号：CN115461412A
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202180030199.0
申请日：2021-03-25
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C08L83/04 , C08G77/14 , C09D183/04 , C09D7/20
Abstract: 组合物，其含有(A)具有由下述平均式(I)所表示的结构的有机聚硅氧烷，和给定量的(B)相对介电常数为7.0以上且9.0以下的溶剂。(SiO4/2)a(R1SiO3/2)b(R12SiO2/2)c(R13SiO1/2)d(R2O1/2)e (I)(式中，R1为氢原子、烷基、芳烷基或芳基，R2为氢原子、甲基、乙基、正丙基、异丙基或乙酰基。a、b、c和d分别为满足0≤a＜1、0＜b≤1、0≤c＜1、0≤d＜1、a+b+c+d＝1的数，e为满足0＜e≤4的数)。
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公开(公告)号：CN109912798A
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201811516062.2
申请日：2018-12-12
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明提供给予满足硬度和韧性这两者并且可碱显影的固化膜的有机聚硅氧烷以及含有该有机聚硅氧烷、能够用作负型抗蚀剂材料的活性能量线固化性组合物。有机聚硅氧烷化合物，其具有由下述式(I)和(II)表示的结构单元。(式中，R1和R5相互独立地表示氢原子、甲基、乙基、正丙基或异丙基，R2、R3和R6相互独立地表示碳原子数1～10的2价的烃基，R4表示氢原子或甲基，n表示满足0≤n≤2的整数，m表示满足0≤m≤2的整数)。
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公开(公告)号：CN109912797A
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201811516065.6
申请日：2018-12-12
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明提供有机聚硅氧烷化合物和包含其的活性能量线固化性组合物。是给予耐开裂性优异、硬度的历时变化小、可碱显影的固化膜的有机聚硅氧烷和含有该聚硅氧烷、可用作负型抗蚀剂材料的活性能量线固化性组合物。有机聚硅氧烷化合物，其具有由式(I)～(III)表示的结构单元，与硅原子直接结合的烷氧基数和羟基数的合计相相对于硅原子数之比为0.3以下。(R1、R4表示氢原子、甲基、乙基、正丙基或异丙基，R2、R5表示碳原子数1～10的2价烃基，R3表示氢原子或甲基，R6表示氢原子、碳原子数1～8的烷基、苯基、(甲基)丙烯酰氧基丙基或缩水甘油氧基丙基，n表示满足0≤n≤2的整数，m表示满足0≤m≤2的整数)。
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公开(公告)号：CN115461412B
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202180030199.0
申请日：2021-03-25
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C08L83/04 , C08G77/14 , C09D183/04 , C09D7/20
Abstract: 组合物，其含有(A)具有由下述平均式(I)所表示的结构的有机聚硅氧烷，和给定量的(B)相对介电常数为7.0以上且9.0以下的溶剂。(SiO4/2)a(R1SiO3/2)b(R12SiO2/2)c(R13SiO1/2)d(R2O1/2)e(I)(式中，R1为氢原子、烷基、芳烷基或芳基，R2为氢原子、甲基、乙基、正丙基、异丙基或乙酰基。a、b、c和d分别为满足0≤a＜1、0＜b≤1、0≤c＜1、0≤d＜1、a+b+c+d＝1的数，e为满足0＜e≤4的数)。
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公开(公告)号：CN109912798B
公开(公告)日：2022-07-05
申请号：CN201811516062.2
申请日：2018-12-12
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明提供给予满足硬度和韧性这两者并且可碱显影的固化膜的有机聚硅氧烷以及含有该有机聚硅氧烷、能够用作负型抗蚀剂材料的活性能量线固化性组合物。有机聚硅氧烷化合物，其具有由下述式(I)和(II)表示的结构单元。(式中，R1和R5相互独立地表示氢原子、甲基、乙基、正丙基或异丙基，R2、R3和R6相互独立地表示碳原子数1～10的2价的烃基，R4表示氢原子或甲基，n表示满足0≤n≤2的整数，m表示满足0≤m≤2的整数)。
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