公开(公告)号：CN107272328A

公开(公告)日：2017-10-20

申请号：CN201710224861.1

申请日：2017-04-07

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 伊藤祥刚 ,  小板桥龙二

IPC: G03F1/66 ,  H01L21/673

CPC classification number: G03F1/66 ,  G03F1/60 ,  H01L21/67359 ,  H01L21/67376 ,  H01L21/67393

Abstract: 本发明的课题在于，提供一种能抑制对抗蚀剂图案的影响且能保管、输送光掩模坯基板的光掩模坯基板收纳容器。为此，提供一种光掩模坯基板收纳容器，其特征在于，具备：内部构件，其具有内部盒体与保持构件；容器本体，其具有下箱与上盖；及，密封带；容器本体和内部构件由高分子系材料构成，该高分子系材料在采取0.1g样品时在以40℃保持60分钟的情况下释放的排气成分中，根据气相色谱质谱仪检测到的排气总量以正十四烷换算为1.9×103ng以下，密封带在采取10mm×10mm尺寸的样品时在以150℃保持10分钟的情况下释放的排气成分中，根据气相色谱质谱仪检测到的排气总量以正十四烷换算为1.8×103ng以下。