表面处理方法、产品的制造方法、表面处理装置和产品

    公开(公告)号:CN115673555A

    公开(公告)日:2023-02-03

    申请号:CN202210881535.9

    申请日:2022-07-26

    Abstract: 本公开涉及表面处理方法、产品的制造方法、表面处理装置和产品。产品包括精细周期性结构,该精细周期性结构在基板表面上的在第一方向上相邻的第一区域和第二区域中的每一个中具有沿第一方向彼此平行地延伸的多个突起部。形成于第一区域的内部中的精细周期性结构和形成于第二区域的内部中的精细周期性结构是基本上相同的周期性结构。形成于第一区域中的多个突起部的端部和形成于第二区域中的多个突起部的端部形成于第一区域与第二区域之间的边界部中。

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